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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1994-0029677 (1994-11-09) |
공개번호 | 20-1996-0019104 (1996-06-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019940029677 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
[청구범위]1. 소정의 공정가스를 주입시켜 페시베이션 공정을 수행하기 위한 석영튜브에 있어서, 상기 석영튜브는 그 일측 외주연부가 소정크기 만큼 라운딩되어 상기 석영튜브내의 압력과 가스의 압력차이에 의한 와류현상을 방지한 것을 특징으로 하는 와류방지용 석영튜브.
대표청구항이 없습니다.
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