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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2000-7007206 (2000-06-28) |
공개번호 | 10-2001-0033683 (2001-04-25) |
등록번호 | 10-0616583-0000 (2006-08-21) |
국제출원번호 | PCT/JP1999/005937 (1999-10-27) |
국제공개번호 | WO2000026592 (2000-05-11) |
번역문제출일자 | 2000-06-28 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020007007206 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2004-10-20) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 심냉분리법을 채용하여 다단의 분류장치를 사용하는 일 없이 냉각트랩의 극저온화를 용량이 작은 냉동장치로 용이하게 달성할 수 있고, 또한 고순도의 PFC계 가스를 회수할 수 있는 PFC계 가스회수방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 진공처리실(에칭챔버)로부터 배출되는 PFC계 가스를 포함하는 혼합가스로부터 PFC계 가스를 회수하는 PFC계 가스회수장치로서 진공처리실의 배기계에 접속되어 상기 진공처리실로부터 배출되는 혼합가스를 동결포집하는 냉각트랩과, 이 냉각트랩의 운전을
냉각트랩으로 진공처리실로부터 배출되는 PFC계 가스를 포함하는 혼합가스를 소정량 동결포집한 후, 상기 냉각트랩의 운전을 정지하고 상기 동결포집체가 기화하여 발생하는 재생혼합가스를 비PFC계 가스제거장치를 통하여 상기 재생혼합가스로부터 PFC계 이외의 가스를 제거하여 고농도 PFC계 가스를 얻고, 이 고농도 PFC계 가스를 회수하는 것을 특징으로 하는 PFC계 가스회수방법. 진공처리실로부터 배출되는 PFC계 가스를 포함하는 혼합가스로부터 PFC계 가스를 회수하는 PFC계 가스회수장치로서, 상기 진공처리실의 배기계에 접속되어 상기 진
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