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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 20-2007-0018080 (2007-11-09) |
공개번호 | 20-2009-0004529 (2009-05-13) |
등록번호 | 20-0444603-0000 (2009-05-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020070018080 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-11-09) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 반도체 제조에 쓰이는 크라이오 진공펌프 극저온판(cold panel)의 활성탄 흡착 구조를 높은 표면적을 가져 진공실의 가스 흡착능이 극대화되게끔 다공성이면서 미립자상의 입상 활성탄(granular activated carbon)으로 극저온판 표리 양면에 걸쳐 3차원적 그물 형상을 가지는 소정 두께 다층 구조의 흡착제층 또는 다층 구조로 피복된 활성탄 흡착제층 전체 면에 걸쳐서 홀가공을 하여 세공의 관통홀이 일정 간격으로 다수 개 형성된 흡착제층을 형성하는 방법으로 극저온판을 고기능의 활성탄 흡착 구조로 표면 개질시킴으
상부 가장자리에 플랜지(11)가 형성된 원통형 펌프 하우징(10) 내측으로 수직 장착된 원통형 냉동 실린더(30) 위로 연장 형성된 연결관(31)을 중심으로 뒤집어진 접시 형상의 극저온판(41)이 다수 개 적층된 극저온판 조립체(40)와 진공용기(radiation shield))(20)가 소정 간격의 동심원상으로 중첩되고 상단부로는 배플(50)이 장착된 2 단계(2 stage) 가스 흡착 구조의 크라이오 진공 펌프에 있어서,상기 극저온판(41)의 표면 및 이면에는 소정 두께로 다공성의 미립자상 입상 활성탄(granular activ
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