초록

본 발명의 목적은 가볍고, 열 응답 키네틱스가 뛰어나고 프로브 카드로 가압시 뒤틀리지 않으며, 따라서 실리콘 웨이퍼의 손상 및 측정 에러에 대하여 효과적으로 자신을 방어하는 웨이퍼 프로버를 제공하는 것이다.본 발명은 웨이퍼 프로버에 관한 것으로서 세라믹 기판에는 그 표면상에 컨덕터층이 형성된다.

대표청구항 ▼

세라믹 기판 및 상기 기판 표면상에 형성된 컨덕터층을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항에 있어서,상기 컨덕터층은 처크 최상위 컨덕터층인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 세라믹 기판에는 온도 제어 수단이 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,상기 세라믹 기판은 질화 세라믹, 탄화 세라믹, 및 산화 세라믹으로 필수 구성되는 그룹으로부터 선택된 한 개 이상의 부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 내

세라믹 기판 및 상기 기판 표면상에 형성된 컨덕터층을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항에 있어서,상기 컨덕터층은 처크 최상위 컨덕터층인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 세라믹 기판에는 온도 제어 수단이 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,상기 세라믹 기판은 질화 세라믹, 탄화 세라믹, 및 산화 세라믹으로 필수 구성되는 그룹으로부터 선택된 한 개 이상의 부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서,상기 온도 제어 수단은 펠티에 장치인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서,상기 온도 제어 수단은 가열 소자인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 내지 제 6 항중 어느 한 항에 있어서,상기 세라믹 기판은 내부에 한 개 이상의 컨덕터층을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서,상기 세라믹 기판은 표면상에 채널을 갖고 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항 내지 제 8 항중 어느 한 항에 있어서,채널은 상기 세라믹 기판의 상기 표면상에 형성되고, 상기 채널에는 공기 흡입 구멍이 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.제 1 항에 있어서,상기 컨덕터층은 다공성 층인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버.<