초록

본 발명은 반도체 폐기물의 재활용 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 제조시 발생된 F 폐수에 수산화칼슘(Ca(OH)2)을 투입하여 폐수처리하고 이를 통해 얻어진 침전물 불화칼슘(CaF2)에 강산성의 폐기물을 반응시켜 CaSO4 또는 CaO 원소를 포함한 유가부산물 또는 불소(F) 함유 가스를 생성하고, 이 유가 부산물 또는 불소 가스에 수분(H2O)을 반응시켜 폐수처리의 원료(Ca(OH)2) 또는 불산(HF2)을 생성함으로써 반도체 폐기물을 효율적으로 재활용할 수 있을 뿐만 아니라 반도체 폐기물의 양을 줄일 수 있다.

대표청구항 ▼

반도체 제조 설비에서 생성된 폐기물 및 폐기물오니의 처리 방법에 있어서, 상기 반도체 제조 설비에서 생성된 폐기물오니중에서 적어도 F를 포함한 폐수에 처리 원료를 투입하여 침전물 CaF2를 형성하는 단계;상기 반도체 제조 설비에서 생성된 폐기물 중에서 강산과 상기 침전물 CaF2를 1차 반응시켜 CaSO4 또는 CaO 원소를 갖는 유가 부산물을 생성하는 단계; 및상기 1차 반응에 의해 생성된 유가 부산물에 수분을 2차 반응시켜 상기 F 폐수 처리과정에서 사용되는 처리 원료를 재생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 폐기

반도체 제조 설비에서 생성된 폐기물 및 폐기물오니의 처리 방법에 있어서, 상기 반도체 제조 설비에서 생성된 폐기물오니중에서 적어도 F를 포함한 폐수에 처리 원료를 투입하여 침전물 CaF2를 형성하는 단계;상기 반도체 제조 설비에서 생성된 폐기물 중에서 강산과 상기 침전물 CaF2를 1차 반응시켜 CaSO4 또는 CaO 원소를 갖는 유가 부산물을 생성하는 단계; 및상기 1차 반응에 의해 생성된 유가 부산물에 수분을 2차 반응시켜 상기 F 폐수 처리과정에서 사용되는 처리 원료를 재생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 폐기물의 재활용 방법.