초록 ▼

반도체 공정 폐수 처리 시스템 및 이를 이용한 반도체 공정 폐수 처리 방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 반도체 공정 폐수 처리 시스템은 반도체 공정 폐수를 투입하여 복수의 단계를 거쳐 처리하는 바덴포(Bardenpho) 공정부 및 상기 바덴포 공정부를 통과한 상기 반도체 공정 폐수를 여과하기 위한 세라믹 나노 멤브레인을 구비한 멤브레인 여과조를 포함할 수 있고, 상기 세라믹 나노 멤브레인은 탄소계 나노물질(carbon-based nanomaterial)을 구비할 수 있다. 상기 세라믹 나노 멤브레인은 상기 탄소계 나노물질로서 그래

반도체 공정 폐수 처리 시스템 및 이를 이용한 반도체 공정 폐수 처리 방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 반도체 공정 폐수 처리 시스템은 반도체 공정 폐수를 투입하여 복수의 단계를 거쳐 처리하는 바덴포(Bardenpho) 공정부 및 상기 바덴포 공정부를 통과한 상기 반도체 공정 폐수를 여과하기 위한 세라믹 나노 멤브레인을 구비한 멤브레인 여과조를 포함할 수 있고, 상기 세라믹 나노 멤브레인은 탄소계 나노물질(carbon-based nanomaterial)을 구비할 수 있다. 상기 세라믹 나노 멤브레인은 상기 탄소계 나노물질로서 그래핀 기반의 나노물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 세라믹 나노 멤브레인은 상기 탄소계 나노물질로서 그래핀 산화물(graphene oxide)를 포함할 수 있다.

대표청구항

반도체 공정 폐수 처리 시스템에 있어서, 반도체 공정 폐수를 투입하여 복수의 단계를 거쳐 처리하는 바덴포(Bardenpho) 공정부; 및 상기 바덴포 공정부를 통과한 상기 반도체 공정 폐수를 여과하기 위한 세라믹 나노 멤브레인을 구비한 멤브레인 여과조를 포함하고, 상기 세라믹 나노 멤브레인은 탄소계 나노물질(carbon-based nanomaterial)을 구비하는, 반도체 공정 폐수 처리 시스템.

반도체 공정 폐수 처리 시스템에 있어서, 반도체 공정 폐수를 투입하여 복수의 단계를 거쳐 처리하는 바덴포(Bardenpho) 공정부; 및 상기 바덴포 공정부를 통과한 상기 반도체 공정 폐수를 여과하기 위한 세라믹 나노 멤브레인을 구비한 멤브레인 여과조를 포함하고, 상기 세라믹 나노 멤브레인은 탄소계 나노물질(carbon-based nanomaterial)을 구비하는, 반도체 공정 폐수 처리 시스템.