초록 ▼

본 발명은 액정디스플레이의 습식 식각 장비에 관한 것으로, 액정 디스플레이 기판의 습식 식각과 세정공정은 다음과 같은 단계로 이루어진다. 액정디스플레이의 기판을 올려놓는 로더부(loader)와, 식각용액에 의한 로더부의 부식을 막기 위해 설치된 고립부(isolate)와, 습식 식각부와, 드레인부와, 습식 식각 후 액정디스플레이의 기판 위에 묻어 있는 식각용액을 제거하기 위한 스프레이방식의 제1 세정부와, 미세한 입자들을 완전히 제거하기 위한 메가 소닉 세정부와, 메가 소닉 세정 후 액정디스플레이 기판 위에 남아 있는 여러 잔여물들

본 발명은 액정디스플레이의 습식 식각 장비에 관한 것으로, 액정 디스플레이 기판의 습식 식각과 세정공정은 다음과 같은 단계로 이루어진다. 액정디스플레이의 기판을 올려놓는 로더부(loader)와, 식각용액에 의한 로더부의 부식을 막기 위해 설치된 고립부(isolate)와, 습식 식각부와, 드레인부와, 습식 식각 후 액정디스플레이의 기판 위에 묻어 있는 식각용액을 제거하기 위한 스프레이방식의 제1 세정부와, 미세한 입자들을 완전히 제거하기 위한 메가 소닉 세정부와, 메가 소닉 세정 후 액정디스플레이 기판 위에 남아 있는 여러 잔여물들을 완전히 씻어 내기 위한 제2 세정부와, 다량의 나이프 (knife) 형태의 DI (deionized water) 물줄기가 액정디스플레이의 기판의 상하에서 뿌려지면서 기판을 이동시키는 아쿠아 나이프(aqua knife)부와, 액정 디스플레이 기판 위에 남아있는 물기를 제거하기 위한 에어 나이프(air knife)부로 구성되어 있으며, 액정디스플레이 기판들이 상기의 단계들을 거칠 때마다 각각의 유니트들 간의 경계벽 사이에서 액체가 유입 또는 유출되는 현상을 막기 위하여 유니트의 경계벽면의 상단에 방지판이 설치된 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

식각하고자 하는 기판이 놓이게 되는 로더부와, 약액이 공급되어 식각이 이루어지는 식각부와, 상기 기판 위의 식각용액을 제거하는 제1 세정부와, 상기 기판 위의 미세한 입자들을 고주파를 통해서 제거하는 메가 소닉부와, 상기 기판 위의 잔여물을 세정하는 제2 세정부와, 상기의 기판 위에 잔류하고 있는 물기를 제거하는 에어 나이프부와, 식각 용액이 저장되어 있는 약액 저장소(chemical tank)와, 각각의 유니트 경계벽면의 상부에 방지판이 설치된 것을 특징으로 하는 액정디스플레이의 습식 식각 장비.제 1 항에 있어서, 상기

식각하고자 하는 기판이 놓이게 되는 로더부와, 약액이 공급되어 식각이 이루어지는 식각부와, 상기 기판 위의 식각용액을 제거하는 제1 세정부와, 상기 기판 위의 미세한 입자들을 고주파를 통해서 제거하는 메가 소닉부와, 상기 기판 위의 잔여물을 세정하는 제2 세정부와, 상기의 기판 위에 잔류하고 있는 물기를 제거하는 에어 나이프부와, 식각 용액이 저장되어 있는 약액 저장소(chemical tank)와, 각각의 유니트 경계벽면의 상부에 방지판이 설치된 것을 특징으로 하는 액정디스플레이의 습식 식각 장비.제 1 항에 있어서, 상기 유니트 상부의 노즐에서 분사되어 나오는 약액에 의한 스프레이 방식인 것을 특징으로 하는 액정디스플레이의 습식 식각 장비.제 1 항에 있어서,상기 유니트 상부의 노즐에서 분사되어 나오는 증류수에 의한 스프레이 방식인 것을 특징으로 하는 액정디스플레이의 습식 식각 장비.제 1 항에 있어서,상기 방지판은 해당 유니트 내부의 재질과 동일한 재질로 설치된 것을 특징으로 하는 액정디스플레이의 습식 식각 장비.제 1 항에 있어서, 상기 방지판은 유니트의 경계벽면에 대하여 기울어지는 소정의 각도 θ는 0。이상 90。이하인 것을 특징으로 하는 액정디스플레이의 습식 식각 장비.제 1 항에 있어서, 상기 기판의 상부와 하부에서 DI 물줄기가 뿌려지면서 상기 시판을 이동시키는 아쿠아 나이프부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이의 습식 식각 장비.