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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2001-0055066 (2001-09-07) |
공개번호 | 10-2003-0021691 (2003-03-15) |
등록번호 | 10-0780936-0000 (2007-11-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010055066 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2006-05-25) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 웨이퍼 상면에 대응하여 포토레지스트 또는 불필요한 포토레지스트를 제거하기 위한 현상액 등의 화학용액을 공급함에 있어서, 이들 화학용액 내에 포함된 기포를 제거하기 위한 기포제거장치 및 이를 이용한 기포제거방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기포제거장치는 화학용액이 담기는 탱크, 탱크의 일측에 연결되어 화학용액을 유입시키는 화학용액 유입관 및 제1 밸브, 화학용액 내의 기포를 가압하여 제거할 수 있도록, 탱크의 상면에 연결되어 기포제거용 가스를 주입시키는 가스 봄베, 가스 주입관 및 제2 밸브, 탱크의 타측 상부에 연결되
화학용액이 담기는 탱크;상기 탱크의 일측에 연결되어 화학용액을 유입시키는 화학용액 유입관 및 제1 밸브;상기 화학용액 내의 기포를 가압하여 제거할 수 있도록, 상기 탱크의 상면에 연결되어 기포제거용 가스를 주입시키는 가스 봄베, 가스 주입관 및 제2 밸브;상기 탱크의 타측 상부에 연결되어 상기 기포제거용 가스를 배출시키는 가스 배출관 및 제3 밸브; 및상기 탱크의 타측 하부에 연결되어 기포가 제거된 화학용액을 배출시키는 화학용액 배출관 및 제4 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기포제거장치.
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