$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

니켈 정량 분석 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01N-009/36
출원번호 10-2001-0088450 (2001-12-29)
공개번호 10-2003-0058064 (2003-07-07)
등록번호 10-0413497-0000 (2003-12-18)
DOI http://doi.org/10.8080/1020010088450
발명자 / 주소
  • 김빈 / 서울특별시양천구신정*동목동아파트****-****
  • 권현자 / 경기도안양시동안구비산동****-*샛별아파트***-****
  • 박규호 / 경기도성남시분당구구미동무지개대림아파트***-****
출원인 / 주소
  • 엘지디스플레이 주식회사 / 서울 영등포구 여의도동 **번지
대리인 / 주소
  • 심창섭; 김용인 (SHIM, Chang Sup)
  • 서울 강남구 역삼*동 ***-** 여삼빌딩 **층(***특허법률사무소); 서울 강남구 역삼*동 ***-** 여삼빌딩 **층(***특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2001-12-29)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 식각액을 사용하여 증착된 니켈을 분리하여 ED-XRF 분석으로 원자 평면 밀도와 두께를 측정하는 니켈 정량 분석 방법에 관한 것으로, 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판에 절연막과 비정질 실리콘을 형성하는 단계와, 상기 비정질 실리콘 상에 니켈을 증착하는 단계와, 상기 니켈을 식각액으로 식각하는 단계와, 상기 식각된 시료를 AP1 필름에 떨어뜨리고 건조시키는 단계와, 상기 건조된 시료를 ED-XRF로 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고 또한, 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판에 AP1 필름을 설치하

대표청구항

기판을 준비하는 단계와, 상기 기판에 절연막과 비정질 실리콘을 형성하는 단계와,상기 비정질 실리콘 상에 니켈을 증착하는 단계와,상기 니켈을 식각액으로 식각하는 단계와,상기 식각된 시료를 AP1 필름에 떨어뜨리고 건조시키는 단계와,상기 건조된 시료를 ED-XRF로 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈 정량 분석 방법.

발명자의 다른 특허 :

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로