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다이아몬드 코팅 부재 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/68
출원번호 10-2002-0007775 (2002-02-09)
공개번호 10-2002-0067640 (2002-08-23)
DOI http://doi.org/10.8080/1020020007775
발명자 / 주소
  • 오하시츠네아키 / 일본아이치켄나고야시미즈호쿠스다쵸*-**니뽄가이시가부시키가이샤나이
  • 무라이마코토 / 일본아이치켄나고야시미즈호쿠스다쵸*-**니뽄가이시가부시키가이샤나이
  • 고바야시히로미치 / 일본아이치켄나고야시미즈호쿠스다쵸*-**니뽄가이시가부시키가이샤나이
출원인 / 주소
  • 니뽄 가이시 가부시키가이샤 / 일본 아이치켄 나고야시 미즈호쿠 스다쵸 *-**
대리인 / 주소
  • 김두규; 김진환; 신정건 (Kim Doo Kyu)
  • 서울 중구 충무로 *가 **-* 극동빌딩 **층(리인터내셔날특허법률사무소); 서울 종로구 신문로*가 흥국생명빌딩*층(김.장법률사무소); 서울 중구 충무로 *가 **-* 극동빌딩 **층(리인터내셔날특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2002-02-09)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록 ▼

본 발명의 과제는 실리콘 웨이퍼로 대표되는 기판이 플라즈마나 부식성 가스 등에 노출되는 반응 챔버 내의 부재, 예컨대 링류, 챔버 라이닝, 가스 샤워 플레이트, 노즐류, 서셉터, 정전 척, 히터 등으로서 적절하게 이용될 수 있는 우수한 내부식성을 발휘하는 다이아몬드 코팅 내부식성 부재를 제공하는 것이다.이 과제의 해결은, 질화알루미늄 등의 기재와, 기재 표면의 적어도 일부를 덮으면서 밀착된 다이아몬드 박막을 구비한 내부식성이 있는 다이아몬드 코팅 부재로서, 박막과 기재의 밀착 강도가 15 MPa 이상이거나, 다이아몬드 박막에 있어서

대표청구항

기재와, 이 기재 표면의 적어도 일부를 덮으면서 밀착된 박막을 구비한 다이아몬드 코팅 내부식성 부재로서,상기 박막은 주결정상이 다이아몬드인 다이아몬드막이고,상기 다이아몬드막에 있어서, 상기 기재와 평행한 면 내에 존재하는 다이아몬드 결정 구조 {220}면의 배향도가 식[Im220/(Im220＋Im111)]/[Ip220/(Ip220＋Ip111)]＜1으로 표시되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅 내부식성 부재.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. [일본] DIAMOND THIN FILM SUBSTRATE AND PRODUCTION THEREOF | YAMAMOTO KENJI, OWADA YOSHIHISA
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  2. [일본] METHOD AND DEVICE FOR USING DIAMOND FILM AS COATING OF DIELECTRIC ON ELECTROSTATIC CHUCK | LOVEY KURAMADATSUTEI
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  3. [한국] 다이아몬드박막층을 형성한 세라믹복합소재의 제조방법과 이에의해 제조된 세라믹복합소재 | 채기웅
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  4. [일본] USE OF CARBON-BASED FILM FOR PROLONGING LIFE OF SUBSTRATE TREATING SYSTEM CONSTITUTING MEMBER | LAVI KARMADATY
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이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. [한국] 고전도성 및 투광성을 갖는 다이아몬드성 카본 코팅 및 그의 제조 방법 | 신승도
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  2. [한국] 서셉터 제조방법 및 이에 의해 제조된 서셉터 | 조중근
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  3. [한국] 기판 가열 처리 장치 및 기판 가열 처리에 사용되는 기판반송용 트레이 | 시바가키 마사미, 구레마츠 야스미
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  4. [한국] 웨이퍼 공정용 히터블록 | 고성근, 임유동
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