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연합인증

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[한국특허] 웨이퍼 얼라인먼트 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/027
출원번호 10-2002-0018875 (2002-04-08)
공개번호 10-2003-0080310 (2003-10-17)
등록번호 10-0453960-0000 (2004-10-12)
DOI http://doi.org/10.8080/1020020018875
발명자 / 주소
  • 이관율 / 경기도안양시만안구박달*동**국제연립*동***호
출원인 / 주소
  • 동부일렉트로닉스 주식회사 / 서울 강남구 대치동 ***-**
대리인 / 주소
  • 장성구; 김원준 (JANG, Seong Ku)
  • 서울시 서초구 양재동 ***-* 트러스트타워**층(제일광장특허법률사무소); 서울시 서초구 양재동 ***-* 트러스트타워**층(제일광장특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2002-04-08)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록 ▼

본 발명은 웨이퍼 얼라인먼트 방법에 관한 것으로, 얼라인먼트 마크를 갖는 웨이퍼의 설정된 영역으로부터 제 1 센서 및 제 2 센서를 통해 얼라인먼트 마크에 대한 단파장 신호 및 광대역 신호를 검출하는 단계와, 검출된 단파장 신호 및 광대역 신호를 기설정된 기준 범위와 비교하는 단계와, 단파장 신호 및 광대역 신호 중에서 어느 하나가 기설정된 기준 범위에 포함되는지를 선택하는 단계와, 신호 선택 결과에 따라 제 1 센서 또는 제 2 센서를 이용하여 얼라인먼트를 진행하는 단계를 포함하며, 공정 효율의 저하를 방지하며 얼라인먼트 불량을

대표청구항 ▼

얼라인먼트 마크를 갖는 웨이퍼로부터 제 1 센서를 통해 상기 마크에 대한 단파장 신호를 검출하거나 제 2 센서를 통해 상기 마크에 대한 광대역 신호를 검출하여 웨이퍼 노광 공정의 얼라인먼트를 진행하는 방법에 있어서,상기 웨이퍼의 설정된 영역으로부터 상기 제 1 센서 및 제 2 센서를 통해 상기 얼라인먼트 마크에 대한 단파장 신호 및 광대역 신호를 검출하는 제 1 단계;상기 검출된 단파장 신호 및 광대역 신호를 기설정된 기준 범위와 비교하는 제 2 단계;상기 비교 결과, 상기 단파장 신호 및 광대역 신호 중에서 어느 하나가 기설정된

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