초록

본 발명은 일반적으로 LiNbO3 웨이퍼를 이용하여 광도파로를 제조한 후 수행되는 화학 기계적 연마에 관한 것으로, 특히 광도파로의 단일 칩 연마에 관한 것이다. 세부적으로는, 연마면의 개선을 가능하게 하는 연마 소자의 고정지그 및 연마를 위한 홀더의 제작에 관한 것이다.

대표청구항

광도파로 소자를 고정하는 지그에 있어서,지그몸체(101);상기 지그몸체 내부에 위치한 받침대(104);상기 받침대 상부에 접촉한 광도파 소자(102);상기 광도파소자 상부에 접촉한 더미샘플(103);상기 더미샘플 상부에 접촉한 지지대(105);상기 지지대 상부에 위치하고 지그몸체의 양쪽 홈에 맞물려있는 고정대(106); 및상기 고정대의 중심을 관통하며 지지대, 더미샘플, 광도파로소자, 받침대를 밀착시키기 위하여 지지대에 연결된 고정대 나사(107)로 구성된 것을 특징으로 하는 LiNbO3 광도파로 소자 연마를 위한 지그.

광도파로 소자를 고정하는 지그에 있어서,지그몸체(101);상기 지그몸체 내부에 위치한 받침대(104);상기 받침대 상부에 접촉한 광도파 소자(102);상기 광도파소자 상부에 접촉한 더미샘플(103);상기 더미샘플 상부에 접촉한 지지대(105);상기 지지대 상부에 위치하고 지그몸체의 양쪽 홈에 맞물려있는 고정대(106); 및상기 고정대의 중심을 관통하며 지지대, 더미샘플, 광도파로소자, 받침대를 밀착시키기 위하여 지지대에 연결된 고정대 나사(107)로 구성된 것을 특징으로 하는 LiNbO3 광도파로 소자 연마를 위한 지그.