초록 ▼

본 발명은 저 유전율 기판을 이용한 저전압 광 변조기에 관한 것으로, 본 발명은 저 유전율을 갖는 기판의 상부에 LiNbO3층을 형성하여 LiNbO3층의 두께를 최소화함으로써, 이 기판을 고용하여 제조된 광변조기는 레이저광과 RF 데이터 신호간의 위상속도 정합 및 특성임피던스 정합이 최적화되며, 구동전압을 낮출 수 있고 변조영역의 길이를 줄일 수 있는 효과가 발생한다.더불어, 변조영역의 길이를 줄여, RF 데이터 신호를 인가하는 전극의 길이를 감소시켜, RF 데이터 신호의 전파 손실 및 광도파 손실을 최소화할 수 있는 효과도 있다.

본 발명은 저 유전율 기판을 이용한 저전압 광 변조기에 관한 것으로, 본 발명은 저 유전율을 갖는 기판의 상부에 LiNbO3층을 형성하여 LiNbO3층의 두께를 최소화함으로써, 이 기판을 고용하여 제조된 광변조기는 레이저광과 RF 데이터 신호간의 위상속도 정합 및 특성임피던스 정합이 최적화되며, 구동전압을 낮출 수 있고 변조영역의 길이를 줄일 수 있는 효과가 발생한다.더불어, 변조영역의 길이를 줄여, RF 데이터 신호를 인가하는 전극의 길이를 감소시켜, RF 데이터 신호의 전파 손실 및 광도파 손실을 최소화할 수 있는 효과도 있다.그리고, LiNbO3층보다 낮은 유전율을 갖는 기판의 상부에 LiNbO3층을 형성하여 유효 유전율을 낮춤으로써, 광대역 주파수 특성이 왜곡되는 현상을 방지할 수 있어, 광대역 광 변조기를 구현할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

LINBO3보다 낮은 유전율을 갖는 물질로 이루어진 저유전율 기판과;상기 저유전율 기판의 상부에 형성된 LINBO3층과; 상기 LINBO3층에 형성되어 입력 광도파로에서 2개로 분기되고 다시 결합되어출력 광도파로 연장되는 광 도파로와;상기 광 도파로와 상기 LINBO3층의 상부에 형성된 버퍼층과;상기 분기된 1개의 광도파로의 상기 버퍼층 상부에 형성되어, RF 데이터 신호가 인가되는 양극전극과;상기 양극전극 일측면과 이격되며, 상기 분기된 다른 1개의 광도파로의 버퍼층 상부에 형성된 제 1 그라운드 전극과; 상기 양극전극 타측면과

LINBO3보다 낮은 유전율을 갖는 물질로 이루어진 저유전율 기판과;상기 저유전율 기판의 상부에 형성된 LINBO3층과; 상기 LINBO3층에 형성되어 입력 광도파로에서 2개로 분기되고 다시 결합되어출력 광도파로 연장되는 광 도파로와;상기 광 도파로와 상기 LINBO3층의 상부에 형성된 버퍼층과;상기 분기된 1개의 광도파로의 상기 버퍼층 상부에 형성되어, RF 데이터 신호가 인가되는 양극전극과;상기 양극전극 일측면과 이격되며, 상기 분기된 다른 1개의 광도파로의 버퍼층 상부에 형성된 제 1 그라운드 전극과; 상기 양극전극 타측면과 이격되며, 상기 버퍼층 상부에 형성된 제 2 그라운드 전극으로 이루어진 저유전율 기판을 이용한 저전압 광대역 광변조기.