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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0063802 (2002-10-18) |
공개번호 | 10-2004-0035074 (2004-04-29) |
등록번호 | 10-0498814-0000 (2005-06-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020063802 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2002-10-18) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
텅스텐 금속막의 연마에 유용한 화학-기계적 연마 슬러리 조성물이 개시된다. 상기 슬러리 조성물은 연마제, 산화제, 2개의 카르복실기를 가지는 유기산을 포함하는 텅스텐 연마 향상제, 암모늄 화합물을 포함하는 분산안정제 및 물을 포함하며, pH가 2 내지 6이다. 여기서, 상기 연마제의 함량은 전체 슬러리 조성물에 대하여 0.1 내지 20.0중량%이고, 산화제의 함량은 0.1 내지 10.0중량%이고, 텅스텐 연마 향상제의 함량은 0.001 내지 5.0중량%이고, 분산안정제의 함량은 0.001 내지 1.0중량%인 것이 바람직하며, 실
연마제, 산화제, 2개의 카르복실기를 가지는 유기산을 포함하는 텅스텐 연마 향상제, 암모늄 화합물을 포함하는 분산안정제 및 물을 포함하며, pH가 2 내지 6인 화학-기계적 연마 슬러리 조성물.
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