[특허]텅스텐 막에 대한 연마 속도가 우수하고 안정성이 뛰어난화학-기계적 연마 슬러리 조성물

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텅스텐 막에 대한 연마 속도가 우수하고 안정성이 뛰어난화학-기계적 연마 슬러리 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	C09K-003/14
출원번호	10-2002-0063802 (2002-10-18)
공개번호	10-2004-0035074 (2004-04-29)
등록번호	10-0498814-0000 (2005-06-23)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020020063802
발명자 / 주소	임종흔 / 경기도화성시양감면요당리**- 김민호 / 경기도화성군양감면요당리**- 김동완 / 경기도화성군양감면요당리**- 박종대 / 경기도화성군양감면요당리**-
출원인 / 주소	주식회사 동진쎄미켐 / 인천 서구 가좌동 **-
대리인 / 주소	이상헌 (Lee, Sang Hun) 서울 강남구 역삼동 **-호 영원빌딩 ***호(한누리특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2002-10-18)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

텅스텐 금속막의 연마에 유용한 화학-기계적 연마 슬러리 조성물이 개시된다. 상기 슬러리 조성물은 연마제, 산화제, 2개의 카르복실기를 가지는 유기산을 포함하는 텅스텐 연마 향상제, 암모늄 화합물을 포함하는 분산안정제 및 물을 포함하며, pH가 2 내지 6이다. 여기서, 상기 연마제의 함량은 전체 슬러리 조성물에 대하여 0.1 내지 20.0중량%이고, 산화제의 함량은 0.1 내지 10.0중량%이고, 텅스텐 연마 향상제의 함량은 0.001 내지 5.0중량%이고, 분산안정제의 함량은 0.001 내지 1.0중량%인 것이 바람직하며, 실

대표청구항

연마제, 산화제, 2개의 카르복실기를 가지는 유기산을 포함하는 텅스텐 연마 향상제, 암모늄 화합물을 포함하는 분산안정제 및 물을 포함하며, pH가 2 내지 6인 화학-기계적 연마 슬러리 조성물.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

[한국] 화학적 기계적 연마용 슬러리 | 츠치야야스아키, 와케토모코, 이타쿠라테츠유키, 사쿠라이신, 아오야기켄이치
상세보기

이 특허를 인용한 특허 (1)

[한국] 연마 슬러리 및 이를 이용한 기판 연마 방법 | 박진형
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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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