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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0078365 (2002-12-10) |
공개번호 | 10-2004-0050513 (2004-06-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020078365 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 고효율 쿨링시스템을 이용한 쿨링 플레이트 모델에 관한 것으로, 본 발명에 따른 고효율 쿨링시스템을 이용한 쿨링 플레이트모델은, 플레이트와; 상기 플레이트의 일측에 장착되어 플레이트의 내주면으로 냉각수를 유입시키는 제1노즐부과; 상기 제1노즐과 인접되게 장착되어 플레이트의 내주면을 통과한 냉각수를 유출시키는 제2노즐부; 및 상기 제1노즐부와 제2노즐부에 상호 연결되어 냉각수가 흐르도록 개구되고 복선으로 구성된 냉각통로 ;를 포함하여 구성되어 냉각수 라인을 복선으로 하여 실리콘웨이퍼 및 플레이트 냉각효율을 증대시키고, 공정시
플레이트와;상기 플레이트의 일측에 장착되어 플레이트의 내주면으로 냉각수를 유입시키는 제1노즐부과;상기 제1노즐과 인접되게 장착되어 플레이트의 내주면을 통과한 냉각수를 유출시키는 제2노즐부와;상기 제1노즐부와 제2노즐부에 상호 연결되어 냉각수가 흐르도록 개구되고 복선으로 구성된 냉각통로;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 고효율 쿨링시스템을 이용한 쿨링 플레이트 모델.
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