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연합인증

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삼불화질소 정제 장치 및 이를 이용한 삼불화질소 정제 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C01B-021/083
출원번호 10-2002-0085264 (2002-12-27)
공개번호 10-2004-0059590 (2004-07-06)
등록번호 10-0482617-0000 (2005-04-01)
DOI http://doi.org/10.8080/1020020085264
발명자 / 주소
  • 권익현 / 경기도시흥시대야동***청구아파트***동****호
  • 현광철 / 서울특별시강서구등촌동주공*단지***-****
  • 박용철 / 경기도성남시분당구정자동판테온리젠시****호
출원인 / 주소
  • 주식회사 효성 / 서울특별시 마포구 공덕동 ***번지
대리인 / 주소
  • 문혜정; 김학제 (MOON, Hye Jung)
  • 서울시 서초구 양재동 ***번지 하이브랜드빌딩**층(피닉스국제특허법률사무소); 서울시 서초구 양재동 ***번지 하이브랜드빌딩**층( 피닉스국제특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2002-12-27)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록 ▼

본 발명은 NF3 정제 장치 및 이를 이용한 NF3 정제 방법에 관한 것으로, 특히 하부에서 상부로 냉각수가 흐르도록 냉각수 유동구역을 제공하는 외부 컬럼(110); 상기 외부 컬럼(110)의 내부 중심을 관통한 밀폐된 상태로 장착되어 상부의 용매 투입구(121)로부터 하부의 용매 배출구(122)로 흡수액이 흐르도록 유도하는 한편, 하부의 가스 투입구(123)에서 상부의 가스 배출구(124)로 가스를 상승시키는 컬럼 본체(120); 및 상기 컬럼 본체(120) 내부 중앙에 장착되어 상기 컬럼 본체(120) 내부의 흡수액과 온도센서

대표청구항

하부에서 상부로 냉각수가 흐르도록 냉각수 유동구역을 제공하는 외부 컬럼| 상기 외부 컬럼의 내부 중심을 관통한 밀폐된 상태로 장착되어 상부의 용매 투입구로부터 하부의 용매 배출구로 흡수액이 흐르도록 유도하는 한편, 하부의 가스 투입구에서 상부의 가스 배출구로 가스를 상승시키는 컬럼 본체| 및 상기 컬럼 본체 내부 중앙에 장착되어, 온도센서 탐침을 포함하고, 상기 컬럼 본체 내부의 흡수액과 온도센서 탐침을 격리시키는 소형관으로 구성된 삼중관형 컬럼을 포함하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소(NF3) 정제 장치.

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