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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0006811 (2003-02-04) |
공개번호 | 10-2004-0070637 (2004-08-11) |
등록번호 | 10-0508665-0000 (2005-08-08) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030006811 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-02-04) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩에 관한 것으로서, 직육면체 형상으로 내부가 비어 있는 하우징과, 하우징 내부에 설치되고 구멍을 갖는 복수 개의 칸막이 판을 포함하고, 하우징의 앞 벽과 뒷 벽에는 배기 라인이 연통되며, 칸막이 판의 대략 절반은 배기 가스 흐름 방향에 대해서 눕는 방향으로 기우러져 있는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 반응 체임버의 압력 및 반응 가스의 흐름에 영향을 미치지 않고 배기 가스의 역류를 억제하면서 배기가스로부터 파우더를 포집함으로써 반응 체임버 내 웨이퍼에 형성되는 박막의
상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩에 있어서,직육면체 형상으로 내부가 비어 있는 하우징과,하우징 내부에 설치되고 구멍을 갖는 복수 개의 칸막이 판을 포함하고,상기 하우징의 앞 벽과 뒤 벽에는 배기 라인이 연통되며, 상기 칸막이 판의 적어도 아래쪽 부분은 하우징 내부에서 배기가스가 흘러가는 방향에 따라 눕는 방향으로 기우러져 있는 것을 특징으로 하는 상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩.
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