초록 ▼

본 발명은 상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩에 관한 것으로서, 직육면체 형상으로 내부가 비어 있는 하우징과, 하우징 내부에 설치되고 구멍을 갖는 복수 개의 칸막이 판을 포함하고, 하우징의 앞 벽과 뒷 벽에는 배기 라인이 연통되며, 칸막이 판의 대략 절반은 배기 가스 흐름 방향에 대해서 눕는 방향으로 기우러져 있는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 반응 체임버의 압력 및 반응 가스의 흐름에 영향을 미치지 않고 배기 가스의 역류를 억제하면서 배기가스로부터 파우더를 포집함으로써 반응 체임버 내 웨이퍼에 형성되는 박막의

본 발명은 상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩에 관한 것으로서, 직육면체 형상으로 내부가 비어 있는 하우징과, 하우징 내부에 설치되고 구멍을 갖는 복수 개의 칸막이 판을 포함하고, 하우징의 앞 벽과 뒷 벽에는 배기 라인이 연통되며, 칸막이 판의 대략 절반은 배기 가스 흐름 방향에 대해서 눕는 방향으로 기우러져 있는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 반응 체임버의 압력 및 반응 가스의 흐름에 영향을 미치지 않고 배기 가스의 역류를 억제하면서 배기가스로부터 파우더를 포집함으로써 반응 체임버 내 웨이퍼에 형성되는 박막의 오염을 줄이며 따라서 수율을 높이는 효과를 가지고 있다.

대표청구항

상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩에 있어서,직육면체 형상으로 내부가 비어 있는 하우징과,하우징 내부에 설치되고 구멍을 갖는 복수 개의 칸막이 판을 포함하고,상기 하우징의 앞 벽과 뒤 벽에는 배기 라인이 연통되며, 상기 칸막이 판의 적어도 아래쪽 부분은 하우징 내부에서 배기가스가 흘러가는 방향에 따라 눕는 방향으로 기우러져 있는 것을 특징으로 하는 상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩.

상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩에 있어서,직육면체 형상으로 내부가 비어 있는 하우징과,하우징 내부에 설치되고 구멍을 갖는 복수 개의 칸막이 판을 포함하고,상기 하우징의 앞 벽과 뒤 벽에는 배기 라인이 연통되며, 상기 칸막이 판의 적어도 아래쪽 부분은 하우징 내부에서 배기가스가 흘러가는 방향에 따라 눕는 방향으로 기우러져 있는 것을 특징으로 하는 상압 화학적 기상 성장 장치의 파우더 트랩.