초록 ▼

본 발명은 액정표시장치를 제조하는 공정 중 박막을 형성하는 증착장비의 구조를 개선한 것으로써 특히 PECVD장치의 기판 예열부를 개선한 것에 관한 것이다.본 발명의 PECVD장치는 다수의 프로세스 챔버와, 다수의 기판을 적층하고 있는 카세트가 위치하는 로드락 챔버와, 상기 로드락 챔버로부터 각각의 프로세스 챔버로 기판을 이송하기 위한 트랜스퍼 챔버를 구비하여 구성된다.상기 프로세스 챔버는 박막이 증착되는 기판과, 상기 기판이 안착되고 기판에 박막을 형성하기 위한 전계를 인가하기 위한 일측의 전극으로 작용하는 서셉터와, 상기 서셉터가

본 발명은 액정표시장치를 제조하는 공정 중 박막을 형성하는 증착장비의 구조를 개선한 것으로써 특히 PECVD장치의 기판 예열부를 개선한 것에 관한 것이다.본 발명의 PECVD장치는 다수의 프로세스 챔버와, 다수의 기판을 적층하고 있는 카세트가 위치하는 로드락 챔버와, 상기 로드락 챔버로부터 각각의 프로세스 챔버로 기판을 이송하기 위한 트랜스퍼 챔버를 구비하여 구성된다.상기 프로세스 챔버는 박막이 증착되는 기판과, 상기 기판이 안착되고 기판에 박막을 형성하기 위한 전계를 인가하기 위한 일측의 전극으로 작용하는 서셉터와, 상기 서셉터가 고정되어 있는 지지판과, 상기 지지판을 지지하는 지지대와, 상기 서셉터의 위치를 결정하는 위치 감지부와, 상기 위치 감지부와 대향하는 피감지부와, 상기 서셉터의 상하 구동을 위한 타임 벨트와 모터를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.상기의 구성을 가진 증착장비를 사용함으로써 증착장비의 공간 효율을 증대시키고 기판의 이동 경로를 최소화함으로써 얼라인먼트 불량을 최소화하고 기판의 이송 시 발생할 수 있는 기판 파손문제를 개선하는 효과를 얻을 수 있다.

대표청구항

박막이 형성될 기판이 대기하는 로드락 챔버;기판에 박막 형성공정을 진행하고 기판의 예열 공정을 실시할 수 있는 다수의 프로세스 챔버;상기 로드락 챔버와 프로세스 챔버 사이로 기판을 이송하는 로봇 암을 구비하는 트랜스퍼 챔버를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 PECVD장치.

박막이 형성될 기판이 대기하는 로드락 챔버;기판에 박막 형성공정을 진행하고 기판의 예열 공정을 실시할 수 있는 다수의 프로세스 챔버;상기 로드락 챔버와 프로세스 챔버 사이로 기판을 이송하는 로봇 암을 구비하는 트랜스퍼 챔버를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 PECVD장치.