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[한국특허] CMP용 세리아 연마제 및 그 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09K-003/14
출원번호 10-2003-0030880 (2003-05-15)
공개번호 10-2004-0098671 (2004-11-26)
등록번호 10-0539983-0000 (2005-12-23)
DOI http://doi.org/10.8080/1020030030880
발명자 / 주소
  • 백운규 / 서울특별시강남구대치동선경아파트**동***호
  • 박재근 / 경기도 성남시 분당구 구미동 무지개마을 건영아파트 ****동 ****호
  • 김상균 / 부산광역시사하구하단동남영아파트*동***호
  • 가토다케오 / 서울시성동구금호동*가***벽산아파트***동***호
  • 박용국 / 서울특별시성동구사근동***-*남강그린하우스***호
출원인 / 주소
  • 주식회사 케이씨텍 / 경기 안성시 미양면 계륵리 ***-*
  • 학교법인 한양학원 / 서울 성동구 행당*동 **
대리인 / 주소
  • 남승희 (Nam Seung Hee)
  • 서울 서초구 서초동 ****-* 서전빌딩**층(아인특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2003-05-15)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 세리아 슬러리와 폴리머타입과 모노머타입을 혼합 합성하여 2가지 이상의 관능기를 가지는 화학적 첨가제를 포함하는 CMP용 연마제에 관한 것이고, 또한 본 발명은 세리아 슬러리를 준비하는 단계, 폴리머타입 물질과 모노머타입 물질을 반응기에서 혼합하고 합성하여 2가지 이상의 관능기를 가지는 합성물로서 화학적 첨가제를 제조하는 단계, 및 상기 슬러리와 상기 화학적 첨가제를 혼합하는 단계를 포함하는 CMP용 연마제의 제조 방법에 관한 것이다. 이로써, 본 발명의 연마제를 STI CMP용 연마제로서 사용할 경우, 초고집적 반도체 공

대표청구항

세리아 슬러리와 폴리머타입과 모노머타입을 혼합 합성하여 2가지 이상의 관능기를 가지는 화학적 첨가제를 포함하는 CMP용 연마제.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 화학 기계 연마용 수계 분산체 | 모또나리,마사유끼, 핫또리,마사유끼, 가와하시,노부오
  2. [한국] CMP 연마제, CMP 연마제용 첨가액 및 기판의 연마방법 | 아까호리,도시히꼬, 아시자와,도라노스께, 히라이,게조, 구리하라,미호, 요시다,마사또, 구라따,야스시

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 산화규소용 연마제, 첨가액 및 연마 방법 | 니시야마 마사야, 후카사와 마사토, 아쿠츠 토시아키, 에노모토 카즈히로, 아시자와 토라노스케, 오오츠키 유우토
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