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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0042299 (2003-06-27) |
공개번호 | 10-2005-0002948 (2005-01-10) |
등록번호 | 10-0511600-0000 (2005-08-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030042299 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-06-27) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 웨이퍼 회전 시스템을 구비한 사진장치 및 이를 이용한 웨이퍼의 외주영역 패터닝 방법에 관한 것으로, 특히 여러가지 공정중에 웨이퍼 중심영역과 외주영역에서 생기는 부하효과로 인하여 발생하는 문제를 최소화하기 위해 레티클 얼라이너(RETICLE ALIGNER)를 이용하여 웨이퍼의 외주영역을 패터닝하는 방법에 관한 것이다.본 발명의 웨이퍼 회전 시스템을 구비한 사진장치는 웨이퍼 얼라인용 및 레티클 얼라인용 광을 발생하는 광원; 회전수단을 구비하여 웨이퍼를 일정한 속도로 회전시키는 레티클 얼라이너; 상기 회전수단의 회전운동 속도
웨이퍼 얼라인용 및 레티클 얼라인용 광을 발생하는 광원; 회전수단을 구비하여 웨이퍼를 일정한 속도로 회전시키는 레티클 얼라이너; 상기 회전수단의 회전운동 속도 및 모드를 제어하기 위한 제어시스템; 및상기 웨이퍼를 얼라인하는 웨이퍼 얼라이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 회전 시스템을 구비한 사진장치.
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