[특허]서셉터 및 이를 포함하는 증착 장치

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/205
출원번호	10-2003-0051637 (2003-07-25)
공개번호	10-2005-0012936 (2005-02-02)
등록번호	10-0527672-0000 (2005-11-03)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020030051637
발명자 / 주소	강태수 / 경기도용인시기흥읍상갈리*-** 최수열 / 경기도오산시원동운암주공단지아파트-* 조규철 / 경기도용인시수지읍수지지구-블럭진흥아파트동호 김기정 / 경기도용인시기흥읍신갈리-영남빌라**호 김진호 / 서울특별시강남구개포동개포주공단지아파트동호 허태열 / 경기도용인시수지읍풍덕천리**번지진산마을삼성차아파트*동**호
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소	박영우 (PARK, Young Woo) 서울 강남구 역삼동 *- 세일빌딩 층(*세기특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2003-07-25)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록

웨이퍼의 슬립 결함을 최소화하기 위한 서셉터 및 이를 채용한 증착 장치가 개시되어 있다. 웨이퍼를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 포함하는 플레이트와 상기 웨이퍼 수납홈의 내측면 가장자리에 설치되고, 고온에서 연성을 갖는 물질로 이루어진 응력 감소용 범퍼가 구비되는 서셉터를 제공한다. 상기 응력 감소용 범퍼에 의해 상기 웨이퍼에 가해지는 접촉 충격을 감소시켜 상기 웨이퍼에 슬립 결함 발생을 최소화시킬 수 있다.

대표청구항

웨이퍼를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 포함하는 플레이트; 및상기 웨이퍼 수납홈의 내측면 가장자리에 설치되고, 고온에서 연성을 갖는 물질로 이루어진 응력 감소용 범퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 서셉터.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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