[특허]웨이퍼 결함 분석 시스템 및 그 제어방법

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[한국특허] 웨이퍼 결함 분석 시스템 및 그 제어방법
WAFER DEFECT ANALYZING DEVICE AND CONTROL METHOD FOR THE SAME 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/66
출원번호	10-2009-0012859 (2009-02-17)
등록번호	10-0928667-0000 (2009-11-19)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020090012859
발명자 / 주소	한호 / 경기도 안산시 이동 *- 이무상 / 경기 안산시 상록구 사동 **** 대우푸르지오 차 동 호 허태열 / 경기도 용인시 수지구 풍덕천동 삼성차아파트 동 **호
출원인 / 주소	주식회사 한스머신 / 경기 시흥시 정왕동 *- 시화공단 나 한호 / 경기도 안산시 이동 -*
대리인 / 주소	허동진 (DONG-JHIN, HUR) 서울 서초구 서초동 *- 쓰리엠하우스 빌딩*층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2009-02-19)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 웨이퍼의 결함을 분석하기까지의 실질적으로 모든 과정이 자동으로 이루어지도록 하여 웨이퍼 결함 분석에 소요되는 시간을 대폭 단축시키고 웨이퍼의 생산공정을 효과적으로 개선하여 생산성 향상은 물론 비용절감을 이룰 수 있도록 하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 결함 분석 시스템은, 복수개의 웨이퍼를 수납하는 매거진; 상기 매거진으로부터 적어도 하나의 웨이퍼를 추출하여 소정 위치로 이송하는 이송장치; 소정의 이온이 포함된 전해액을 수용하며, 상기 이송장치에 의해 이송되어 로딩된 웨이퍼에 대해 전기장을 인가하여 웨이퍼 결함

대표청구항

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[한국] 웨이퍼 표면 결함 분석 방법 | 김기정, 심태헌, 최수열, 안정훈
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[일본] EVALUATION METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFER AND ITS APPARATUS | KOBAYASHI TAKESHI
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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