초록 ▼

본 발명은 공정을 진행하는 과정에서 카세트 상에 탑재된 웨이퍼들의 플랫존이 일 방향에 있도록 정렬하는 반도체소자 제조설비의 웨이퍼 정렬시스템에 관한 것으로서, 이에 대한 특징적인 구성은, 설정 위치에 놓인 카세트의 하부에서 구비한 롤러로 웨이퍼들의 하측 부위를 지지토록 하며 회전을 제어하여 웨이퍼들의 플랫존을 정렬시키는 정렬부와; 상기 롤러의 길이 방향 측벽을 따라 복수 개수로 돌출한 형상을 이루며, 회전하는 웨이퍼들이 각각의 사이에 위치하도록 안내하는 환형 돌기와; 상호 마주보는 상기 환형 돌기의 양측벽에 한 쌍으로 구비되어 그

본 발명은 공정을 진행하는 과정에서 카세트 상에 탑재된 웨이퍼들의 플랫존이 일 방향에 있도록 정렬하는 반도체소자 제조설비의 웨이퍼 정렬시스템에 관한 것으로서, 이에 대한 특징적인 구성은, 설정 위치에 놓인 카세트의 하부에서 구비한 롤러로 웨이퍼들의 하측 부위를 지지토록 하며 회전을 제어하여 웨이퍼들의 플랫존을 정렬시키는 정렬부와; 상기 롤러의 길이 방향 측벽을 따라 복수 개수로 돌출한 형상을 이루며, 회전하는 웨이퍼들이 각각의 사이에 위치하도록 안내하는 환형 돌기와; 상호 마주보는 상기 환형 돌기의 양측벽에 한 쌍으로 구비되어 그 사이에 웨이퍼의 존재 여부를 감지하는 웨이퍼 감지센서; 및 상기 웨이퍼 감지센서의 감지신호를 수신하여 웨이퍼들의 각 위치와 매수를 판단하는 콘트롤러를 포함하여 이루어진다.

대표청구항 ▼

설정 위치에 놓인 카세트의 하부에서 구비한 롤러로 웨이퍼들의 하측 부위를 지지토록 하며 회전을 제어하여 웨이퍼들의 플랫존을 정렬시키는 정렬부와;상기 롤러의 길이 방향 측벽을 따라 복수 개수로 돌출한 형상을 이루며, 회전하는 웨이퍼들이 각각의 사이에 위치하도록 안내하는 환형 돌기와;상호 마주보는 상기 환형 돌기의 양측벽에 한 쌍으로 구비되어 그 사이에 웨이퍼의 존재 여부를 감지하는 웨이퍼 감지센서; 및상기 웨이퍼 감지센서의 감지신호를 수신하여 웨이퍼들의 각 위치와 매수를 판단하는 콘트롤러를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체소자

설정 위치에 놓인 카세트의 하부에서 구비한 롤러로 웨이퍼들의 하측 부위를 지지토록 하며 회전을 제어하여 웨이퍼들의 플랫존을 정렬시키는 정렬부와;상기 롤러의 길이 방향 측벽을 따라 복수 개수로 돌출한 형상을 이루며, 회전하는 웨이퍼들이 각각의 사이에 위치하도록 안내하는 환형 돌기와;상호 마주보는 상기 환형 돌기의 양측벽에 한 쌍으로 구비되어 그 사이에 웨이퍼의 존재 여부를 감지하는 웨이퍼 감지센서; 및상기 웨이퍼 감지센서의 감지신호를 수신하여 웨이퍼들의 각 위치와 매수를 판단하는 콘트롤러를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체소자 제조설비의 웨이퍼 정렬시스템.