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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0073681 (2003-10-22) |
공개번호 | 10-2005-0038375 (2005-04-27) |
등록번호 | 10-0507840-0000 (2005-08-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030073681 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-10-22) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 마이크로스코프의 정밀 스캐닝 또는 파이버 정렬 등에 관련된 2축 운동을 위한 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 케이스의 내측으로 보조운동부와 판스프링을 대칭으로 배치하여 열적 특성과 안정적 운동을 보장하고 X 스테이지와 Y 스테이지를 같은 평면상에 구성하여 X , Y 방향외에 다른 방향의 기생운동을 방지하도록 하는 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지는 케이스의 내측에
케이스(1)의 내측에 대향하여 설치되는 X축 보조운동부(11)들과; X축 방향에 수직하도록 상기 X축 보조운동부(11)에 대향하여 설치되는 복수의 제1판스프링(16)들과; 상기 X축 방향으로 인접한 내측의 상기 제1판스프링(16)들 사이에 설치되며 내측공간을 갖는 X축 주운동부(20)와; 및 상기 X축 주운동부(20)의 일측에 인접하고 상기 케이스(1)에 일측이 고정되는 상기 제1판스프링(16)에 설치되며 상기 X축 주운동부(20)의 일측에 접촉하는 X축 구동기(40)를 포함하는 X 스테이지(10); 및
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