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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0079144 (2003-11-10) |
공개번호 | 10-2005-0045178 (2005-05-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030079144 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 CMP용 슬러리 보관용기 설계방법을 개시한다. 개시된 발명은, CMP공정에 사용되는 슬러리 보관용기의 제조방법에 있어서, 보관용기내에 슬러리 를 채우는 단계; 및 상기 보관용기내에 채취라인을 설치하되, 채취라인의 하면 끝단이 윗쪽을 향하도록 배치하는 단계;를 포함하여 구성되며, 응집되지 않은 연마재를 공급하므로써 스크래치와 파티클을 줄이고 수율 향상에 기여할 수 있는 것이다.
CMP공정에 사용되는 슬러리 보관용기의 제조방법에 있어서, 보관용기내에 슬러리를 채우는 단계; 및 상기 보관용기내에 채취라인을 설치하되, 채취라인의 하면 끝단이 윗쪽을 향하도록 배치하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 CMP용 슬러리 보관용기 설계방법.
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