[특허]니켈 에칭 용액

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[한국특허] 니켈 에칭 용액
NICKEL ETCHANT COMPOSITION 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	C23F-001/30
출원번호	10-2003-0087621 (2003-12-04)
공개번호	10-2005-0054270 (2005-06-10)
등록번호	10-1070170-0000 (2011-09-28)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020030087621
발명자 / 주소	이승용 / 대전광역시 대덕구 송촌동 선비마을 *-* 천승환 / 경기도 광주시 탄벌동 현대아파트 *동 호 이재연 / 전라북도 익산시 영등동 비사벌아파트 - 오금철 / 경기도 동두천시 생연동 번지 에이스아파트 동 **호
출원인 / 주소	동우 화인켐 주식회사 / 전북 익산시 신흥동 *-호
대리인 / 주소	특허법인코리아나
심사청구여부	있음 (2008-12-03)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록

본 발명에 따른 언더범프메탈에 대한 에칭 용액은 황산 40 내지 80 중량%, 무기산 0.1 내지 10 중량%, NO3- 함유 첨가제 0.1 내지 5 중량% 및 잔량의 물을 함유한다.본 발명에 따른 에칭 용액을 사용하면 니켈로 이루어진 언더범프메탈을 에칭할수 있으며, 아울러 에칭 용액에 기인한 금속의 오염을 방지하여 최종 수득되는 반도체의 수율 저하를 막을 수 있다.

대표청구항

황산 45 내지 70 중량%, 질산 1 내지 5 중량%, NO3- 함유 첨가제 0.1 내지 0.5 중량% 및 잔량의 물을 함유하는 니켈 에칭 용액.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

[일본] ETCHING SOLUTION FOR NICKEL OR NICKEL ALLOY | YONEOKA TAKESHI, AKIYAMA DAISAKU
상세보기

이 특허를 인용한 특허 (2)

[한국] 니켈을 포함하는 금속층의 식각용 조성물 | 김윤철, 박종희, 장 욱
상세보기
[한국] 은 및 니켈-크롬 적층형 금속층 식각액 조성물 | 유정훈, 임영민, 허연, 김민우
상세보기

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

[특허] 금과 니켈의 선택 에칭액

저작권 관리 안내

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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