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[한국특허] 금과 니켈의 선택 에칭액
Gold and nickel selective etching liquid
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C23F-001/02
  • C23F-001/40
  • H01L-021/306
출원번호 10-2010-0025537 (2010-03-23)
공개번호 10-2010-0107399 (2010-10-05)
DOI http://doi.org/10.8080/1020100025537
발명자 / 주소
  • 타카하시 히데키 / 일본 사이타마현 소카시 이나리 *-*-* 간토 가가꾸 가부시키가이샤 중앙연구소 내
  • 나가시마 카즈아키 / 일본 사이타마현 소카시 이나리 *-*-* 간토 가가꾸 가부시키가이샤 중앙연구소 내
출원인 / 주소
  • 간토 가가꾸 가부시키가이샤 / 일본국 도꾜도 츄오-꾸 니혼바시혼쵸 *-쵸메 *-*
대리인 / 주소
  • 신동준
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

과제금과 니켈이 공존하는 재료의 1액으로의 에칭을 가능하게 하고, 또한 금 및 니켈의 에칭속도를 제어할 수 있는 에칭방법 및 에칭액을 제공한다.해결수단요오드계 에칭액에 있어서, 무기산 또는 상온에서 고체인 유기산, 및/또는 유기용제를 첨가하여, 각 성분의 배합비를 조절한 에칭액으로 하고, 금 및/또는 니켈을 에칭한다.

대표청구항

금과 니켈이 공존하는 재료에서 금과 니켈을 선택적으로 에칭하는 방법에 있어서, 요오드화물 및 요오드, 또는 산 또는 유기용제를 함유하는 에칭액의 각 성분의 배합비를 조절하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 금과 니켈의 선택에칭 방법.

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