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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2003-0095423 (2003-12-23) |
| 공개번호 | 10-2005-0064135 (2005-06-29) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020030095423 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
| 법적상태 | 취하 |
모델 변경 등으로 인하여 폐기될 마스크를 재활용하기 위한 연마작업을 정밀하게 수행하기 위하여, 본 발명은 마스크가 고정되는 지지프레임; 상기 지지 프레임으로부터 상부로 돌출되어 고정된 수직부재들; 상기 지지프레임의 양측면을 따라서 상기 수직부재들의 상단을 연결하도록 길게 연장된 지지바들; 그의 양 끝단이 상기 지지바들의 상부을 따라서 슬라이딩 가능하게 장착된 수평부재; 상기 수평부재를 따라서 슬라이딩 가능하게 장착된 모터; 상기 모터로부터 직하방으로 연장된 회전축; 그리고 상기 마스크의 상면과 접촉되도록 상기 회전축의 일단에 장착된
마스크가 고정되는 지지프레임; 상기 지지 프레임으로부터 상부로 돌출되어 고정된 수직부재들; 상기 지지프레임의 양측면을 따라서 상기 수직부재들의 상단을 연결하도록 길게 연장된 지지바들; 그의 양 끝단이 상기 지지바들의 상부을 따라서 슬라이딩 가능하게 장착된 수평부재; 상기 수평부재를 따라서 슬라이딩 가능하게 장착된 모터; 상기 모터로부터 직하방으로 연장된 회전축; 그리고
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