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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0061223 (2022-05-19) | |
공개번호 | 10-2022-0158632 (2022-12-01) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2021-086958 (2021-05-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220061223 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
콜로이달 실리카 입자를 포함하는 콜로이달 실리카와, pH 조정제와, 킬레이트제를 함유하는 연마용 조성물.본 발명의 연마용 조성물은, 연마 후의 세정에 있어서 제거가 용이하고, 본 발명의 연마용 조성물을 사용한 표면 연마에 의해, 고평탄, 저결함이며, 표면 조도가 작은 표면을 갖는 기판을, 저렴하고 생산성 높게 제조할 수 있고, SiO2를 주성분으로 하는 유리 기판 등의 마스크 블랭크스용 기판, 특히, EUVL용의 마스크 블랭크스용 기판으로서 적합한, 높은 표면 품질을 갖는 기판을 제공할 수 있다.
콜로이달 실리카 입자를 포함하는 콜로이달 실리카와, pH 조정제와, 킬레이트제를 함유하는 것을 특징으로 하는 연마용 조성물.
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