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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-7000070 (2003-01-03) |
공개번호 | 10-2003-0022263 (2003-03-15) |
등록번호 | 10-0544865-0000 (2006-01-13) |
국제출원번호 | PCT/JP1999/003086 (1999-06-09) |
국제공개번호 | WO2000076273 (2000-12-14) |
번역문제출일자 | 2003-01-03 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020037000070 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-01-03) |
심사진행상태 | 등록결정(취소환송후) |
법적상태 | 소멸 |
온도제어가 쉬우며, 얇고 가벼운 세라믹히터와, 이 히터에 사용하는 발열체 형성용 도전 페이스트를 제공하는 것을 목적으로 하고, 질화물 세라믹 또는 탄화물 세라믹으로 되는 세라믹 기판의 표면 또는 내부에 금속입자와, 필요에 따라 혼합되는 금속산화물을 소결하여 형성한 발열체를 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.또, 이같은 도전 페이스트는 금속입자와 금속산화물을 혼합하여 이루는 페이스트를 사용한다.
질화물 세라믹 또는 탄화물 세라믹으로 이루어진 기판의 표면에, 발열체를 형성하고, 이 발열체 형성면과는 반대측의 면을 가열면으로 하고,상기 세라믹기판 표면에는 산화막이 형성됨과 동시에, 상기 발열체는, 금속입자와 금속산화물과의 혼합물로 이루어진 도전 페이스트에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.제 1 항에 있어서, 상기 혼합물은, 금속입자에 대해 금속산화물을 0.1 내지 10wt% 미만의 비율로 함유하는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.제 1 항에 있어서, 상기 금속입자는, 비늘편상, 또는 구형상과 비늘편상의 혼합물
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