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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)마이크로티에스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-08 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500018778 |
과제고유번호 | 1425079924 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-03 |
키워드 | 세라믹 Heater.Track장비.ALN. |
□개발목표
계 획
Track장비용 초정밀 세라믹히터개발
실 적
온도 균일도를 확보하여 세라믹 히터 개발 완료.
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 최대온도:계획( 400℃),실적(400℃)
2. 온도균일도:계획( 400±4℃ ),실적(400±2.7℃)
3. 저항편차:계획( ±5%),실적( ±4.5% )
4. 평탄도:계획( ±15μm ),실적(±12μm)
□기대효과
- 기술적인 측면
· 독자적인 기술력 확보 : 고속 상온 및 냉각을 대응할 수 있는 고 내열충격의
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