초록

온도제어가 쉬우며, 얇고 가벼운 세라믹히터와, 이 히터에 사용하는 발열체 형성용 도전 페이스트를 제공하는 것을 목적으로 하고, 질화물 세라믹 또는 탄화물 세라믹으로 되는 세라믹 기판의 표면 또는 내부에 금속입자와, 필요에 따라 혼합되는 금속산화물을 소결하여 형성한 발열체를 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.또, 이같은 도전 페이스트는 금속입자와 금속산화물을 혼합하여 이루는 페이스트를 사용한다.

대표청구항 ▼

질화물 세라믹 또는 탄화물 세라믹으로 이루어진 기판의 표면에, 발열체를 형성하고, 이 발열체 형성면과는 반대측의 면을 가열면으로 하고,상기 세라믹기판 표면에는 산화막이 형성됨과 동시에, 상기 발열체는, 금속입자와 금속산화물과의 혼합물로 이루어진 도전 페이스트에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.제 1 항에 있어서, 상기 혼합물은, 금속입자에 대해 금속산화물을 0.1 내지 10wt% 미만의 비율로 함유하는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.제 1 항에 있어서, 상기 금속입자는, 비늘편상, 또는 구형상과 비늘편상의 혼합물

질화물 세라믹 또는 탄화물 세라믹으로 이루어진 기판의 표면에, 발열체를 형성하고, 이 발열체 형성면과는 반대측의 면을 가열면으로 하고,상기 세라믹기판 표면에는 산화막이 형성됨과 동시에, 상기 발열체는, 금속입자와 금속산화물과의 혼합물로 이루어진 도전 페이스트에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.제 1 항에 있어서, 상기 혼합물은, 금속입자에 대해 금속산화물을 0.1 내지 10wt% 미만의 비율로 함유하는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.제 1 항에 있어서, 상기 금속입자는, 비늘편상, 또는 구형상과 비늘편상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.제 1 항에 있어서, 상기 금속입자 표면에 산화막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.표면에 산화막이 형성된 금속입자와 금속산화물의 혼합물로 이루어진 도전 페이스트로서, 세라믹 기판의 표면에 형성된 발열체에 사용되는 것을 특징으로 하는 도전 페이스트.