본 발명의 목적은, 박막증착용 기판이 대면적화함에 따라 수급 불안정과 제조 비용 증가를 개선할 수 있는 샤워헤드 확장부와 이를 포함하는 PECVD 장치를 제공하는 데 있다. 본 발명은, 상부 및 하부에 각각 위치하여 외부 영역과 차단되는 진공상태의 반응 영역을 형성하는 챔버리드 및 챔버바디와; 상기 챔버바디에 설치되고, 상면에 기판이 안착되는 서셉터와; 상기 챔버리드 내부에 설치되고, 상기 서셉터와 이격되고, 반응 가스를 상기 기판 상에 균일하게 분사하고, 외부전원과 연결되어 상기 서셉터와 플라즈마를 형성
본 발명의 목적은, 박막증착용 기판이 대면적화함에 따라 수급 불안정과 제조 비용 증가를 개선할 수 있는 샤워헤드 확장부와 이를 포함하는 PECVD 장치를 제공하는 데 있다. 본 발명은, 상부 및 하부에 각각 위치하여 외부 영역과 차단되는 진공상태의 반응 영역을 형성하는 챔버리드 및 챔버바디와; 상기 챔버바디에 설치되고, 상면에 기판이 안착되는 서셉터와; 상기 챔버리드 내부에 설치되고, 상기 서셉터와 이격되고, 반응 가스를 상기 기판 상에 균일하게 분사하고, 외부전원과 연결되어 상기 서셉터와 플라즈마를 형성하는 샤워헤드와; 상기 샤워헤드와 상기 챔버리드 사이에 위치하고, 세라믹으로 이루어져 상기 샤워헤드와 상기 챔버리드를 절연하고, 분할가능한 다수의 분할부로 이루어진 샤워헤드 확장부를 포함하는 플라즈마 화학기상증착 장치를 제공한다. 본 발명은 샤워헤드 확장부를 분할 구조로 형성함으로써 세라믹 가공상의 한계에 따른 수급 문제를 개선할 수 있고, 일부에 결함이 발생하는 경우에 결함이 발생한 분할부만을 교체할 수 있어 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
대표청구항▼
상부 및 하부에 각각 위치하여 외부 영역과 차단되는 진공상태의 반응 영역을 형성하는 챔버리드 및 챔버바디와|상기 챔버바디에 설치되고, 상면에 기판이 안착되는 서셉터와|상기 챔버리드 내부에 설치되고, 상기 서셉터와 이격되고, 반응 가스를 상기 기판 상에 균일하게 분사하고, 외부전원과 연결되어 상기 서셉터와 플라즈마를 형성하는 샤워헤드와|상기 샤워헤드와 상기 챔버리드 사이에 위치하고, 세라믹으로 이루어져 상기 샤워헤드와 상기 챔버리드를 절연하고, 분할가능한 다수의 분할부로 이루어진 샤워헤드 확장부를 포함하는 플라즈마 강화 화학기상증착
상부 및 하부에 각각 위치하여 외부 영역과 차단되는 진공상태의 반응 영역을 형성하는 챔버리드 및 챔버바디와|상기 챔버바디에 설치되고, 상면에 기판이 안착되는 서셉터와|상기 챔버리드 내부에 설치되고, 상기 서셉터와 이격되고, 반응 가스를 상기 기판 상에 균일하게 분사하고, 외부전원과 연결되어 상기 서셉터와 플라즈마를 형성하는 샤워헤드와|상기 샤워헤드와 상기 챔버리드 사이에 위치하고, 세라믹으로 이루어져 상기 샤워헤드와 상기 챔버리드를 절연하고, 분할가능한 다수의 분할부로 이루어진 샤워헤드 확장부를 포함하는 플라즈마 강화 화학기상증착 장치.제 1 항에 있어서,상기 다수의 분할부 중 서로 결합되는 두 개의 분할부의 접촉면은 평면적으로 중첩되는 플라즈마 강화 화학기상증착 장치.제 2 항에 있어서,상기 서로 결합되는 두 개의 분할부의 접촉면은 서로 대응되는 경사면과 단층면 중 선택된 하나로 이루어진 플라즈마 강화 화학기상증착 장치.제 1 항에 있어서,상기 샤워헤드 확장부는 상기 샤워헤드와 상기 챔버리드 중 선택된 하나와 체결수단을 통해 결합되는 플라즈마 강화 화학기상증착 장치.제 4 항에 있어서,상기 체결수단을 덮는 절연물질로 이루어진 차폐수단을 더욱 포함하는 플라즈마 강화 화학기상증착 장치.플라즈마 강화 화학기상증착 장치의 샤워헤드와 챔버리드를 절연하는 샤워헤드 확장부로서,세라믹으로 이루어지고, 분할가능한 다수의 분할부로 이루어진 샤워헤드 확장부.제 6 항에 있어서,상기 다수의 분할부 중 서로 결합되는 두 개의 분할부의 접촉면은 평면적으로 중첩되는 샤워헤드 확장부.제 7 항에 있어서,상기 서로 결합되는 두 개의 분할부의 접촉면은 서로 대응되는 경사면과 단층면 중 선택된 하나로 이루어진 샤워헤드 확장부.제 7 항에 있어서,상기 서로 결합되는 두 개의 분할부의 접촉면은 서로 이격된 샤워헤드 확장부.제 6 항에 있어서,상기 샤워헤드 확장부는 장변과 단변이 2m 이상인 샤워헤드 확장부.
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