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연합인증

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[한국특허] 플라즈마 강화 화학기상증착 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C23C-016/513
출원번호 10-2004-0041359 (2004-06-07)
공개번호 10-2005-0116230 (2005-12-12)
DOI http://doi.org/10.8080/1020040041359
발명자 / 주소
  • 서풍부 / 경상북도 칠곡군 석적면 남율리 우방신천지 ***동 ****호
  • 황하용 / 경상북도 구미시 옥계동 대동 한마음타운 ***동 ****호
출원인 / 주소
  • 엘지디스플레이 주식회사 / 서울 영등포구 여의도동 **번지
대리인 / 주소
  • 특허법인네이트 (Neit Patent & Law Firm)
  • 서울시 강남구 역삼동 ***-* 수산빌딩 *층
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록 ▼

본 발명의 목적은, 박막증착용 기판이 대면적화함에 따라 수급 불안정과 제조 비용 증가를 개선할 수 있는 샤워헤드 확장부와 이를 포함하는 PECVD 장치를 제공하는 데 있다. 본 발명은, 상부 및 하부에 각각 위치하여 외부 영역과 차단되는 진공상태의 반응 영역을 형성하는 챔버리드 및 챔버바디와; 상기 챔버바디에 설치되고, 상면에 기판이 안착되는 서셉터와; 상기 챔버리드 내부에 설치되고, 상기 서셉터와 이격되고, 반응 가스를 상기 기판 상에 균일하게 분사하고, 외부전원과 연결되어 상기 서셉터와 플라즈마를 형성

대표청구항 ▼

상부 및 하부에 각각 위치하여 외부 영역과 차단되는 진공상태의 반응 영역을 형성하는 챔버리드 및 챔버바디와|상기 챔버바디에 설치되고, 상면에 기판이 안착되는 서셉터와|상기 챔버리드 내부에 설치되고, 상기 서셉터와 이격되고, 반응 가스를 상기 기판 상에 균일하게 분사하고, 외부전원과 연결되어 상기 서셉터와 플라즈마를 형성하는 샤워헤드와|상기 샤워헤드와 상기 챔버리드 사이에 위치하고, 세라믹으로 이루어져 상기 샤워헤드와 상기 챔버리드를 절연하고, 분할가능한 다수의 분할부로 이루어진 샤워헤드 확장부를 포함하는 플라즈마 강화 화학기상증착

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