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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2004-7011979 (2004-08-03) |
공개번호 | 10-2004-0075114 (2004-08-26) |
등록번호 | 10-0954255-0000 (2010-04-14) |
국제출원번호 | PCT/US2003/003666 (2003-02-06) |
국제공개번호 | WO2003066284 (2003-08-14) |
번역문제출일자 | 2004-08-03 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020047011979 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-02-04) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
폴리싱 시스템(20)은 회전 플레이튼(24), 플레이튼에 고정된 폴리싱 패드(30), 폴리싱 패드에 대향해 기판을 유지시키는 캐리어 헤드(10), 및 폴리싱 패드를 통해 적어도 부분적으로 연장하는 코일 또는 강자성체를 포함하는 와전류 모니터링 시스템을 구비할 수 있다.폴리싱 패드는 폴리싱 층과 폴리싱 층에 고정된 코일 또는 강자성체를 구비할 수 있다.리세스가 폴리싱 패드 내의 투명 윈도우에 형성될 수 있다.
폴리싱 표면 및 후방 표면 및 상기 폴리싱 표면으로부터 상기 후방 표면까지 형성된 통공을 갖는 폴리싱 층과,상기 폴리싱 층 내에 있는 중실형 투명 윈도우로서,상기 중실형 투명 윈도우는 상기 폴리싱 표면과 동일한 평면에 있는 상부 표면을 가지고 상기 후방 표면과 동일한 평면에 있는 바닥 표면을 가지며, 상기 상부 표면과 상기 바닥 표면 사이에 두꺼운 영역을 가지며, 상기 중실형 투명 윈도우는 상기 바닥 표면에 홈을 포함하고, 상기 홈은 리세스형 내부 표면을 형성하고, 상기 중실형 투명 윈도우는 상기 리세스형 내부 표면과 상기 중실형
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