초록

폴리싱 시스템(20)은 회전 플레이튼(24), 플레이튼에 고정된 폴리싱 패드(30), 폴리싱 패드에 대향해 기판을 유지시키는 캐리어 헤드(10), 및 폴리싱 패드를 통해 적어도 부분적으로 연장하는 코일 또는 강자성체를 포함하는 와전류 모니터링 시스템을 구비할 수 있다.폴리싱 패드는 폴리싱 층과 폴리싱 층에 고정된 코일 또는 강자성체를 구비할 수 있다.리세스가 폴리싱 패드 내의 투명 윈도우에 형성될 수 있다.

대표청구항 ▼

폴리싱 표면 및 후방 표면 및 상기 폴리싱 표면으로부터 상기 후방 표면까지 형성된 통공을 갖는 폴리싱 층과,상기 폴리싱 층 내에 있는 중실형 투명 윈도우로서,상기 중실형 투명 윈도우는 상기 폴리싱 표면과 동일한 평면에 있는 상부 표면을 가지고 상기 후방 표면과 동일한 평면에 있는 바닥 표면을 가지며, 상기 상부 표면과 상기 바닥 표면 사이에 두꺼운 영역을 가지며, 상기 중실형 투명 윈도우는 상기 바닥 표면에 홈을 포함하고, 상기 홈은 리세스형 내부 표면을 형성하고, 상기 중실형 투명 윈도우는 상기 리세스형 내부 표면과 상기 중실형

폴리싱 표면 및 후방 표면 및 상기 폴리싱 표면으로부터 상기 후방 표면까지 형성된 통공을 갖는 폴리싱 층과,상기 폴리싱 층 내에 있는 중실형 투명 윈도우로서,상기 중실형 투명 윈도우는 상기 폴리싱 표면과 동일한 평면에 있는 상부 표면을 가지고 상기 후방 표면과 동일한 평면에 있는 바닥 표면을 가지며, 상기 상부 표면과 상기 바닥 표면 사이에 두꺼운 영역을 가지며, 상기 중실형 투명 윈도우는 상기 바닥 표면에 홈을 포함하고, 상기 홈은 리세스형 내부 표면을 형성하고, 상기 중실형 투명 윈도우는 상기 리세스형 내부 표면과 상기 중실형 투명 윈도우의 상부 표면 사이에 얇은 영역을 가지는, 중실형 투명 윈도우와, 그리고통공을 포함하는 배킹 층으로서, 상기 배킹 층은 상기 폴리싱 층의 후방 표면에서 상기 폴리싱 층에 부착되어, 상기 배킹 층의 통공이 상기 중실형 투명 윈도우의 홈을 노출하도록 정렬된, 배킹층을 포함하고,상기 배킹 층의 통공은 상기 배킹 층이 상기 중실형 투명 윈도우의 바닥 표면의 외측 영역을 지지하도록 상기 중실형 투명 윈도우의 홈을 둘러싸는 크기 및 형상을 가지며, 상기 얇은 영역은 상기 두꺼운 영역으로 연결되고, 상기 두꺼운 영역이 상기 폴리싱 층에 연결되어 상기 중실형 투명 윈도우의 얇은 영역의 상부 표면의 일 부분이 상기 중실형 투명 윈도우를 둘러싸는 상기 폴리싱 표면의 일 부분에 대해 수직하게 움직이는 것을 억제하도록 하는,폴리싱 패드.