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연합인증

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[한국특허] 다핵 금속분자빔 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01J-027/26
  • H01J-027/24
  • H01J-037/08
  • H01J-027/02
출원번호 10-2004-7016947 (2004-10-21)
공개번호 10-2004-0102147 (2004-12-03)
등록번호 10-0740479-0000 (2007-07-11)
국제출원번호 PCT/JP2003/005145 (2003-04-23)
국제공개번호 WO2003092033 (2003-11-06)
번역문제출일자 2004-10-21
DOI http://doi.org/10.8080/1020047016947
발명자 / 주소
  • 후지모토도시유키 / 일본 이바라키켕 츠쿠바시 우메조노 *-*-* 도꾸리쯔교세이호진 상교기쥬쯔 소고겡뀨죠 츠쿠바 쥬오 다이 * 나이
  • 이치무라신고 / 일본 이바라키켕 츠쿠바시 우메조노 *-*-* 도꾸리쯔교세이호진 상교기쥬쯔 소고겡뀨죠 츠쿠바 쥬오 다이 * 나이
  • 노나카히데히코 / 일본 이바라키켕 츠쿠바시 우메조노 *-*-* 도꾸리쯔교세이호진 상교기쥬쯔 소고겡뀨죠 츠쿠바 쥬오 다이 * 나이
  • 구로카와아키라 / 일본 이바라키켕 츠쿠바시 우메조노 *-*-* 도꾸리쯔교세이호진 상교기쥬쯔 소고겡뀨죠 츠쿠바 쥬오 다이 * 나이
출원인 / 주소
  • 도꾸리쯔교세이호진 상교기쥬쯔 소고겡뀨죠 / 일본 도쿄도 치요다쿠 카스미가세키 *-*-*
대리인 / 주소
  • 특허법인코리아나 (Koreana Patent Firm)
  • 서울특별시 강남구 역삼동 ***-**
심사청구여부 있음 (2004-10-21)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

금속 클러스터 착물이나 배위자 안정화 금속 클라스터 등의 다핵 금속분자를 사용하여 이온 빔을 생성하는 다핵 금속분자빔 장치.다핵 금속분자(1)는 기화되고, 이온화실(4)에 있어서 전자 충격, 광조사, 플라즈마 이온화, 전계, 전하이동 등의 각종 이온화 수단에 의해 이온화된다.

대표청구항 ▼

다핵 금속분자를 사용하여 이온 빔을 생성하는 것을 특징으로 하는 다핵 금속분자빔 장치. 제 1 항에 있어서,기화 또는 안개화시킨 다핵 금속분자를 이온화하는 것을 특징으로 하는 다핵 금속분자빔 장치. 제 2 항에 있어서,기화 또는 안개화시킨 다핵 금속분자를 전자충격에 의해 이온화하는 것을 특징으로 하는 다핵 금속분자빔 장치.제 2 항에 있어서,기화 또는 안개화시킨 다핵 금속분자를 광조사에 의해 이온화하는 것을 특징으로 하는 다핵 금속분자빔 장치. 제 2 항에 있어서,기화 또는 안개화시킨 다핵 금속분자를 플라즈마에 의해 이온화하는

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [일본] MICROWAVE ION SOURCE FOR GENERATING MASS ION | TOKIKUCHI KATSUMI, GOTO SUMITAKA, AMAMIYA KENSUKE, HAKAMATA YOSHIMI, SAKUMICHI KUNIYUKI
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