초록 ▼

전통적인 용기와 동일한 정도의 산소 차단성을 가지면서, 용기의 목부에서의 DLC 막이 착색되는 것을 방지하는 DLC 막 코팅 플라스틱 용기, 그 플라스틱 용기의 제조장치 및 제조방법으로서, 상기 장치는 목부를 갖는 용기를 수용하는 감압실의 일부를 형성하는 용기측 전극, 이 용기측 전극에 대응하여 감압실의 일부를 형성하는 절연체를 사이에 두고 서로 대향하도록 용기 내부 또는 용기의 개구부의 상측에 배치되는 대향전극, 원료가스 도입관을 포함하는 원료가스 공급수단, 배기수단 및 고주파 공급수단을 포함하고, 상기 용기측 전극은 상기 용기를

전통적인 용기와 동일한 정도의 산소 차단성을 가지면서, 용기의 목부에서의 DLC 막이 착색되는 것을 방지하는 DLC 막 코팅 플라스틱 용기, 그 플라스틱 용기의 제조장치 및 제조방법으로서, 상기 장치는 목부를 갖는 용기를 수용하는 감압실의 일부를 형성하는 용기측 전극, 이 용기측 전극에 대응하여 감압실의 일부를 형성하는 절연체를 사이에 두고 서로 대향하도록 용기 내부 또는 용기의 개구부의 상측에 배치되는 대향전극, 원료가스 도입관을 포함하는 원료가스 공급수단, 배기수단 및 고주파 공급수단을 포함하고, 상기 용기측 전극은 상기 용기를 수용할 때의 용기의 목부 주변 내벽의 평균 내구경이 상기 몸통부 주변 내벽의 평균 내구경보다도 작게 되도록 형성되고, 또한 상기 목부에서의 용기의 연직방향에 대한 횡단면에서의 상기 용기 외벽과 상기 용기측 전극 내벽 사이의 평균거리가 상기 몸통부에서의 용기의 연직방향에 대한 횡단면에서의 상기 용기 외벽과 상기 용기측 전극 내벽 사이의 평균거리보다도 길게 되도록 형성된다.

대표청구항 ▼

개구부의 단면적이 몸통부에서의 횡단면의 단면적보다 작으며 그 개구부와 그 몸통부 사이에 목부가 형성되어 있는 플라스틱으로 이루어진 용기를 수용하는 감압실의 일부를 형성하는 용기측 전극, 및 상기 용기측 전극을 마주보고 상기 용기의 내부 또는 개구부 상방에 배치되는 대향전극을 포함하며, 상기 용기측 전극 및 대향전극은 감압실의 일부를 형성하는 절연체를 사이에 두고 대향하고, 플라즈마로 변하여 상기 용기의 내벽면에 다이아몬드형 탄소(DLC) 막을 코팅하기 위한 원료가스를 공급하는 원료가스 공급수단은 상기 감압실에 공급된 그 원료가스를

개구부의 단면적이 몸통부에서의 횡단면의 단면적보다 작으며 그 개구부와 그 몸통부 사이에 목부가 형성되어 있는 플라스틱으로 이루어진 용기를 수용하는 감압실의 일부를 형성하는 용기측 전극, 및 상기 용기측 전극을 마주보고 상기 용기의 내부 또는 개구부 상방에 배치되는 대향전극을 포함하며, 상기 용기측 전극 및 대향전극은 감압실의 일부를 형성하는 절연체를 사이에 두고 대향하고, 플라즈마로 변하여 상기 용기의 내벽면에 다이아몬드형 탄소(DLC) 막을 코팅하기 위한 원료가스를 공급하는 원료가스 공급수단은 상기 감압실에 공급된 그 원료가스를 상기 용기의 내부에 도입하기 위해 상기 감압실에 제공된 원료가스 도입관을 포함하며, 그 감압실 내의 가스를 상기 용기의 개구부 상방으로부터 배기하는 배기수단이 제공되고, 또한 고주파를 공급하는 고주파 공급수단이 상기 용기측 전극에 접속되며, 상기 용기측 전극은 상기 용기를 수용할 때의 상기 목부 주변 내벽의 평균 내구경(R2)이 상기 몸통부 주변 내벽의 평균 내구경(Rl) 보다도 작게 되도록 형성되고, 또한 상기 목부에서의 용기의 연직방향에 대한 횡단면에서의 상기 용기 외벽과 상기 용기측 전극 내벽 사이의 평균거리(d2)가 상기 몸통부에서의 용기의 연직방향에 대한 횡단면에서의 상기 용기 외벽과 상기 용기측 전극 내벽 사이의 평균거리(dl) 보다도 길게 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 DLC 막 코팅 플라스틱 용기의 제조장치.