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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한밭대학교 산학협력단 Hanbat University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-06 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400021175 |
과제고유번호 | 1425079843 |
사업명 | 첫걸음기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
1. 최종목표
- 세부목표1: 기능성 고분자 (Parylene) 고속 코팅 장비 개발(성막속도 > 500 nm /min)
- 세부목표2: Parylene 박막의 배리어층 특성 확보(WVTR ≤ 3 g·mil/㎡/day, 표면균일도 < 10±1.5 nm)
- 세부목표3: 광학적인 특성 (투명도) 확보(투과도 > 85%, Haze < 3%)
2. 개발내용 및 결과
- 페럴린 증착 장비의 분해부용 노즐 기술개발을 통한 성막속도의 고속화를 통하여 컨포멀 코팅의 공정 시간의 단축을 성공적으로 달성함
- 고속
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