초록 ▼

본 발명은 유기 박막 제작에 있어 진공 상태에서 얇은 박막을 형성하는 데 사용되는 증착 공정용 증발원에 관한 것으로서 특히, 기존 점증발원이 용량이 작아 실제 양산 시에는 다수개의 점증발원을 리벌버라는 회전체에 수용하고 하나의 점증발원 내의 유기물질을 소진한 후 리벌버를 돌려 다음 점증발원으로 교체하여 증착해야 하는 복잡한 제어와 각 점증발원들의 유기물 증착 분포 차이에 의해 발생하는 기판 사이의 박막 두께의 불균일성과 리벌버의 크기로 인해 증착 챔버가 불필요하게 커야 하는 등의 문제점들을 해결하는 발명으로 용량이 큰 선형도가니를

본 발명은 유기 박막 제작에 있어 진공 상태에서 얇은 박막을 형성하는 데 사용되는 증착 공정용 증발원에 관한 것으로서 특히, 기존 점증발원이 용량이 작아 실제 양산 시에는 다수개의 점증발원을 리벌버라는 회전체에 수용하고 하나의 점증발원 내의 유기물질을 소진한 후 리벌버를 돌려 다음 점증발원으로 교체하여 증착해야 하는 복잡한 제어와 각 점증발원들의 유기물 증착 분포 차이에 의해 발생하는 기판 사이의 박막 두께의 불균일성과 리벌버의 크기로 인해 증착 챔버가 불필요하게 커야 하는 등의 문제점들을 해결하는 발명으로 용량이 큰 선형도가니를 사용하여 양산 시 잦은 유기물질 재충전 없이 1주일의 장시간동안 증착이 가능하고 기체 분출구인 노즐부를 교체할 수 있어 소면적 기판에서 대면적 기판까지 다양한 기판에 사용할 수 있고 균일한 박막 두께를 형성하는 효과가 있는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원에 관한 발명이다.

대표청구항 ▼

긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치; 상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성되며,상기 선형도가니 덮개는 긴 직육면체 모양으로 상부벽과 4개의 측벽들로 구성되고 상기 상부벽 중앙에는 상기 노즐부 삽입구가 뚫려있으며, 상기 노즐부 삽입구에는

긴 직육면체 모양의 선형도가니; 상기 선형도가니의 상부를 덮는 선형도가니 덮개; 및 상기 선형도가니 덮개에 형성된 노즐부 삽입구에 결합되는 노즐부;를 포함하여 구성된 선형도가니 장치; 상기 선형도가니 장치를 가열하도록 상기 선형도가니 장치의 외측에 구비된 열선; 및상기 선형도가니 장치와 상기 열선을 내장하며, 상기 열선에 의해 가열되지 않도록 물관을 구비한 하우징;으로 구성되며,상기 선형도가니 덮개는 긴 직육면체 모양으로 상부벽과 4개의 측벽들로 구성되고 상기 상부벽 중앙에는 상기 노즐부 삽입구가 뚫려있으며, 상기 노즐부 삽입구에는 삽입구 나사홈과 원형의 걸림턱이 형성되어 있고, 상기 상부벽 내측면은 상기 노즐부 삽입구에서 양 끝 측벽으로 경사지도록 형성되며, 상기 4개의 측벽들 하부의 안쪽에는 돌출부가 아래로 돌출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 선형도가니 노즐부 교체형 증발원.