[특허]기판, 감광막 형성 장치 및 감광막 형성 방법

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[한국특허] 기판, 감광막 형성 장치 및 감광막 형성 방법
A SUBSTRATE, AN APPARATUS FOR FORMING A PHOTORESISTLAYER AND A METHOD OF FORMING A PHOTORESIST LAYER 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	G02F-001/1333
출원번호	10-2005-0011283 (2005-02-07)
공개번호	10-2006-0090073 (2006-08-10)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020050011283
발명자 / 주소	박주용 / 충남 아산시 탕정면 명암리 삼성 크리스탈기숙사 청옥동 **호 정지영 / 충남 천안시 쌍용동 월봉벽산태영아파트-**
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소	박영우 (PARK, Young Woo) 서울 강남구 역삼동 *- 세일빌딩 층(*세기특허법률사무소)
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록

기판, 감광막 형성 장치 및 감광막 형성 방법이 개시된다. 기판은 플레이트, 회로부 및 감광물질 차단 부재를 포함한다. 플레이트는 유효 영역 및 유효 영역을 감싸는 주변 영역으로 구분되며 회로부는 유효 영역 상에 형성된다. 감광물질 차단 부재는 주변 영역을 덮어 유효 영역에 제공된 감광물질이 주변 영역 상에 코팅되는 것을 차단한다. 따라서, 감광막을 패터닝하여 형성되는 박막 패턴에서 불량의 발생이 감소된다.

대표청구항

유효 영역 및 상기 유효 영역을 감싸는 주변 영역으로 구분된 플레이트; 상기 유효 영역 상에 형성된 회로부; 및 상기 주변 영역을 덮어 상기 유효 영역에 제공된 감광물질이 상기 주변 영역 상에 코팅되는 것을 차단하는 감광물질 차단 부재를 포함하는 기판.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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