초록 ▼

격벽을 구비하는 측면 분사형 선형 증발원 및 그 증발원을 구비하는 증착장치를 제공한다. 상기 선형 증발원은 측면이 개구된 하우징을 구비한다. 상기 하우징의 내부에 도가니가 위치한다. 상기 도가니는 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비한다. 이로써, 증발재료는 상기 도가니 내에서 어느 한 방향으로 치우치지 않고 균일하게 저장될 수 있으며, 상기 증발재료로부터 증

격벽을 구비하는 측면 분사형 선형 증발원 및 그 증발원을 구비하는 증착장치를 제공한다. 상기 선형 증발원은 측면이 개구된 하우징을 구비한다. 상기 하우징의 내부에 도가니가 위치한다. 상기 도가니는 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비한다. 이로써, 증발재료는 상기 도가니 내에서 어느 한 방향으로 치우치지 않고 균일하게 저장될 수 있으며, 상기 증발재료로부터 증발된 증기의 압력은 상기 도가니의 전체 저장공간들에서 균일하게 분포할 수 있다.

대표청구항 ▼

측면이 개구된 하우징|상기 하우징의 내부에 위치하고, 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비하는 도가니|상기 도가니의 개구된 면에 연결되고, 노즐을 구비하는 노즐부| 및상기 노즐부 및/또는 상기 도가니를 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 격벽은 그의 상부에 단차를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1

측면이 개구된 하우징|상기 하우징의 내부에 위치하고, 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비하는 도가니|상기 도가니의 개구된 면에 연결되고, 노즐을 구비하는 노즐부| 및상기 노즐부 및/또는 상기 도가니를 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 격벽은 그의 상부에 단차를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 격벽은 상기 도가니 몸체와 일체형인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 도가니는 상기 몸체의 개구된 면에 인접하는 튐 방지턱(spitting preventing protrusion)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 4 항에 있어서,상기 튐 방지턱은 상기 도가니 몸체와 일체형인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 도가니 몸체의 상부면은 탈착가능한 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 도가니 내에 저장되는 증발재료는 유기물인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 노즐부는 상기 도가니의 개구된 면으로부터 돌출되고, 상기 가열부는 상기 노즐부의 돌출된 부분을 가열하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 도가니는 흑연 도가니인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 가열부와 상기 하우징 사이에 개재되고, 상기 도가니의 상부면 및 하부면을 따라 연장된 열 반사판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 노즐부의 기판 방향 외부면에 부착되는 열 차단판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.챔버|상기 챔버 내에 위치하여 지면과 70 내지 110도의 각을 가지도록 기판을 고정하는 기판 고정수단| 및상기 기판을 향하는 측면이 개구된 하우징| 상기 하우징의 내부에 위치하고, 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비하는 도가니| 상기 도가니의 개구된 면에 연결되고, 노즐을 구비하는 노즐부| 및 상기 노즐부 및/또는 상기 도가니를 가열하는 가열부를 구비하는 선형 증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 선형 증발원을 상하방향으로 이동시키는 증발원 이송장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 격벽은 그의 상부에 단차를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 격벽은 상기 도가니 몸체와 일체형인 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 도가니는 상기 몸체의 개구된 면에 인접하는 튐 방지턱(spitting preventing protrusion)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.제 16 항에 있어서,상기 튐 방지턱은 상기 도가니 몸체와 일체형인 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 도가니 몸체의 상부면은 탈착가능한 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 도가니 내에 저장되는 증발재료는 유기물인 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 노즐부는 상기 도가니의 개구된 면으로부터 돌출되고, 상기 가열부는 상기 노즐부의 돌출된 부분을 가열하는 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 선형 증발원은 상기 가열부와 상기 하우징 사이에 개재되고, 상기 도가니의 상부면 및 하부면을 따라 연장된 열 반사판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.제 12 항에 있어서,상기 선형 증발원은 상기 노즐부의 기판 방향 외부면에 부착되는 열 차단판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.