초록 ▼

본 발명의 목적은 내부에 물질 증발 모니터링을 위한 별도의 수단 없이도 증발원의 증발량을 일정하게 유지할 수 있는 증발원을 제공하고자 하는 것이다. 이러한 구성은 설비비와 유지비 비용 발생을 최소화 할 수 있다.상기 목적에 따라 본 발명은, 증착 시스템에 있어서, 물질을 용융하여 액화하는 액화기;상기 액화기로부터 유입된 용융물을 기화하는 기화기;상기 기화기로부터 연장되어 증발물이 분사되는 노즐을 구비한 투입구; 및상기 액화기와 상기 기화기 사이를 연결하는 통로에, 액화된 물질이 기화기로 유입되는 양을 제어하는 컨트롤러;를 포함하여,

본 발명의 목적은 내부에 물질 증발 모니터링을 위한 별도의 수단 없이도 증발원의 증발량을 일정하게 유지할 수 있는 증발원을 제공하고자 하는 것이다. 이러한 구성은 설비비와 유지비 비용 발생을 최소화 할 수 있다.상기 목적에 따라 본 발명은, 증착 시스템에 있어서, 물질을 용융하여 액화하는 액화기;상기 액화기로부터 유입된 용융물을 기화하는 기화기;상기 기화기로부터 연장되어 증발물이 분사되는 노즐을 구비한 투입구; 및상기 액화기와 상기 기화기 사이를 연결하는 통로에, 액화된 물질이 기화기로 유입되는 양을 제어하는 컨트롤러;를 포함하여, 상기 컨트롤러가 기화기로 유입되는 액화된 물질의 유량을 일정하게 제어하여 증착률을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 균등 증착 시스템을 제공한다.

대표청구항 ▼

증착 시스템에 있어서, 물질을 용융하여 액화하는 액화기;상기 액화기의 하단에 설치된 액화물질의 통로;상기 통로에 액화된 물질이 기화기로 유입되는 양을 제어하는 컨트롤러;상기 통로와 상기 컨트롤러를 통과하여 액화기로부터 유입된 용융물을 즉시 기화시키는 기화기; 및상기 기화기로부터 연장되어 증발물이 분사되는 노즐을 구비한 투입구;를 포함하고, 상기 컨트롤러를 통과한 액화물질은 컨트롤러 아래 쪽에 배치된 기화기로일정한 유속으로 액화물질이 흘러 유입되고, 상기 기화기는, 기화기로 액화된 물질이 유입되는 통로 상부 내벽으로부터 기화기 저면을

증착 시스템에 있어서, 물질을 용융하여 액화하는 액화기;상기 액화기의 하단에 설치된 액화물질의 통로;상기 통로에 액화된 물질이 기화기로 유입되는 양을 제어하는 컨트롤러;상기 통로와 상기 컨트롤러를 통과하여 액화기로부터 유입된 용융물을 즉시 기화시키는 기화기; 및상기 기화기로부터 연장되어 증발물이 분사되는 노즐을 구비한 투입구;를 포함하고, 상기 컨트롤러를 통과한 액화물질은 컨트롤러 아래 쪽에 배치된 기화기로일정한 유속으로 액화물질이 흘러 유입되고, 상기 기화기는, 기화기로 액화된 물질이 유입되는 통로 상부 내벽으로부터 기화기 저면을 향해 경사지게 드리워진 역류방지판을 더 구비하고, 상기 역류방지판의 하단은 기화기 저면으로부터 이격되어 기화된 증발물이 액화기 쪽으로 역류되지 않고 투입구 쪽으로만 진행하게 하고, 상기 컨트롤러는, 액화된 물질의 유속을 모니터링하는 모니터링 장치와 액화된 물질이 흐르는 통로에 설치된 밸브와 상기 모니터링 장치의 모니터링 결과에 따라 상기 밸브를 개폐제어하는 제어장치를 포함하고, 유속의 모니터링 장치는 유량 센서 또는 레벨 센서를 포함하고,상기 컨트롤러는 기화기로 유입되는 액화된 물질의 유입속도를 일정하게 제어함으로써 증발물에 의한 증착률을 일정하게 제어하여 별도의 증발 모니터링 시스템을 필요로 하지 않는 것을 특징으로 하는 균등 증착 시스템.