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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2005-0016095 (2005-02-25) |
공개번호 | 10-2006-0094711 (2006-08-30) |
등록번호 | 10-0635496-0000 (2006-10-11) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050016095 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-02-25) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
격벽을 구비하는 측면 분사형 선형 증발원 및 그 증발원을 구비하는 증착장치를 제공한다. 상기 선형 증발원은 측면이 개구된 하우징을 구비한다. 상기 하우징의 내부에 도가니가 위치한다. 상기 도가니는 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비한다. 이로써, 증발재료는 상기 도가니 내에서 어느 한 방향으로 치우치지 않고 균일하게 저장될 수 있으며, 상기 증발재료로부터 증
측면이 개구된 하우징|상기 하우징의 내부에 위치하고, 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비하는 도가니|상기 도가니의 개구된 면에 연결되고, 노즐을 구비하는 노즐부| 및상기 노즐부 및/또는 상기 도가니를 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1 항에 있어서,상기 격벽은 그의 상부에 단차를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.제 1
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