초록 ▼

본 발명은 반도체 설비용 정전 척의 냉각 장치에 관한 것으로서, 즉 본 발명은 알루미늄 재질의 바디(10) 상부면을 세라믹 재질로 형성하고, 상기 바디(10)의 내부에는 냉매가 유동하는 냉각 라인이 구비되며, 냉각 라인은 상기 바디(10)의 저면에서 냉매 공급관(20)과 냉매 배출관(30)에 각각 연결되는 설비용 정전 척의 냉각 장치에 있어서, 상기 바디(10)에는 하부측 냉각 라인(40)과 상부측 냉각 라인(50) 및 하부 냉각부(60)와 상부 냉각부(70)를 복층으로 형성되고, 하부측 냉각 라인(40)과 상부측 냉각 라인(50)

본 발명은 반도체 설비용 정전 척의 냉각 장치에 관한 것으로서, 즉 본 발명은 알루미늄 재질의 바디(10) 상부면을 세라믹 재질로 형성하고, 상기 바디(10)의 내부에는 냉매가 유동하는 냉각 라인이 구비되며, 냉각 라인은 상기 바디(10)의 저면에서 냉매 공급관(20)과 냉매 배출관(30)에 각각 연결되는 설비용 정전 척의 냉각 장치에 있어서, 상기 바디(10)에는 하부측 냉각 라인(40)과 상부측 냉각 라인(50) 및 하부 냉각부(60)와 상부 냉각부(70)를 복층으로 형성되고, 하부측 냉각 라인(40)과 상부측 냉각 라인(50) 및 하부 냉각부(60)와 상부 냉각부(70)는 일측에서 상호 연통되도록 하여 상기 바디(10)를 유동하는 액상의 냉매에 의해서 정전 척을 냉각시켜 일정한 온도로 유지되도록 하는 구성이 특징인 바 특히 정전 척을 균일한 온도로서 유지되도록 함으로써 웨이퍼 가공 효율이 향상되도록 하는 반도체 설비용 정전 척의 냉각 장치에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

알루미늄 재질의 바디 상부면은 세라믹 재질로 이루어지도록 하고, 상기 바디의 내부에는 냉매가 유동하는 냉각 라인을 형성하며, 냉각 라인에는 양단부로 냉매 공급관과 냉매 배출관이 각각 연결되는 반도체 설비용 정전 척의 냉각 장치에 있어서, 상기 바디에는 수평선상에 판면을 따라 홀형상으로 형성되는 하부측 냉각 라인과 상부측 냉각 라인을 복층으로 형성되고, 하부측 냉각 라인과 상부측 냉각 라인은 일측에서 상호 연통되도록 하여 상기 바디를 유동하는 액상의 냉매에 의해서 정전 척을 냉각시켜 일정한 온도로 유지되도록 하는 반도체 설비용 정전

알루미늄 재질의 바디 상부면은 세라믹 재질로 이루어지도록 하고, 상기 바디의 내부에는 냉매가 유동하는 냉각 라인을 형성하며, 냉각 라인에는 양단부로 냉매 공급관과 냉매 배출관이 각각 연결되는 반도체 설비용 정전 척의 냉각 장치에 있어서, 상기 바디에는 수평선상에 판면을 따라 홀형상으로 형성되는 하부측 냉각 라인과 상부측 냉각 라인을 복층으로 형성되고, 하부측 냉각 라인과 상부측 냉각 라인은 일측에서 상호 연통되도록 하여 상기 바디를 유동하는 액상의 냉매에 의해서 정전 척을 냉각시켜 일정한 온도로 유지되도록 하는 반도체 설비용 정전 척의 냉각 장치.