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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2005-0086265 (2005-09-15) |
공개번호 | 10-2006-0051339 (2006-05-19) |
등록번호 | 10-1093406-0000 (2011-12-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050086265 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-09-02) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
마스크 블랭크의 광학특성에 관련한 사양의 일탈이나 피전사체의 패턴 결함을 방지한다.마스크 블랭크 제조부문이 마스크 블랭크 투명기판상에 마스크 패턴이 되는 박막을 형성하여 마스크 블랭크를 제조하고 이를 마스크 제조부문에 제공할 때 마스크 블랭크 투명기판의 광학특성 정보(투과율 편차)와 마스크 블랭크의 광학특성 정보(투과율 편차 및/또는 위상차 편차)를 마스크 제조부문에 제공한다. 또한 마스크 블랭크 투명기판의 광학특성 정보는 마스크 블랭크 투명기판을 제조하는 소재ㆍ가공부문으로부터 블랭크 제조부문에 제공된다.
마스크 블랭크용 투명기판을 제조하는 소재·가공부문으로부터 제공된 마스크 블랭크용 투명기판의 노광 파장에 대한 광학특성 정보를 상기 투명기판에 관련지어 축적하는 기판 정보 축적수단과,마스크 제조부문에 제공하는, 마스크 블랭크의 노광 파장에 대한 광학특성 정보를 상기 마스크 블랭크에 관련지어 축적하는 마스크 블랭크 정보 축적수단과, 상기 기판 정보 축적수단에 축적된 상기 마스크 블랭크용 투명기판의 노광 파장에 대한 광학특성 정보를 마스크 제조부문에 제공하는 기판 정보 제공수단과, 상기 마스크 블랭크 정보 축적수단에 축적된 상기 마스크
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