초록 ▼

본 발명은 백색광 간섭계를 이용한 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 1간섭무늬를 획득하고 합성간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 2간섭무늬를 획득한다. 제 1간섭무늬를 통해 박막의 두께로 인해 생성되는 위상을 얻고 위상으로부터 박막의 두께정보만을 획득한다. 제 2간섭무늬로부터 위상을 구하고, 박막두께정보가 포함된 박막표면정보를 획득한다. 박막두께정보를 이용해 박막두께정보가 포함된 박막표면정보로부터 박막의 표면정보를 획득한다. 따라서, 본

본 발명은 백색광 간섭계를 이용한 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 1간섭무늬를 획득하고 합성간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 2간섭무늬를 획득한다. 제 1간섭무늬를 통해 박막의 두께로 인해 생성되는 위상을 얻고 위상으로부터 박막의 두께정보만을 획득한다. 제 2간섭무늬로부터 위상을 구하고, 박막두께정보가 포함된 박막표면정보를 획득한다. 박막두께정보를 이용해 박막두께정보가 포함된 박막표면정보로부터 박막의 표면정보를 획득한다. 따라서, 본 발명은 별도의 구동 장치 없이 실시간 측정과 한번의 측정으로 한 점 또는 한 선에 대한 처리가 가능하고 외부 진동에 강인한 효과가 있다.

대표청구항 ▼

박막이 코팅된 측정물의 박막의 두께정보와 박막의 표면형상정보를 획득하는 방법에 있어서,백색광을 임의 방향의 편광광으로 만든 후 수평편광광과 수직편광광으로 분리하는 제1단계;수평편광광(혹은 수직편광광)을 박막이 코팅된 측정물에 입사시키고, 수직평광광(혹은 수평편광광)은 기준면에 입사시키는 제2단계;측정물에 입사된 광이 박막의 상층부와 하층부에서 반사되면서 간섭되어 간섭광을 생성시키는 제3단계;기준면에 입사된 광을 반사시켜 반사광을 얻고 상기 제3단계의 간섭광과 합쳐 합성간섭광을 생성시키는 제4단계;상기 제3단계의 간섭광을 주파수별로

박막이 코팅된 측정물의 박막의 두께정보와 박막의 표면형상정보를 획득하는 방법에 있어서,백색광을 임의 방향의 편광광으로 만든 후 수평편광광과 수직편광광으로 분리하는 제1단계;수평편광광(혹은 수직편광광)을 박막이 코팅된 측정물에 입사시키고, 수직평광광(혹은 수평편광광)은 기준면에 입사시키는 제2단계;측정물에 입사된 광이 박막의 상층부와 하층부에서 반사되면서 간섭되어 간섭광을 생성시키는 제3단계;기준면에 입사된 광을 반사시켜 반사광을 얻고 상기 제3단계의 간섭광과 합쳐 합성간섭광을 생성시키는 제4단계;상기 제3단계의 간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 간섭무늬를 획득하는 제5단계;상기 제4단계의 합성간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 간섭무늬를 획득하는 제6단계;상기 제5단계의 주파수별 간섭무늬를 통해 박막의 두께로 인해 생성되는 위상을 얻고 상기 위상으로부터 박막의 두께정보만을 획득하는 제7단계;상기 제6단계의 주파수별 간섭무늬로부터 위상을 구하고, 박막두께정보가 포함된 박막표면정보를 획득하는 제8단계; 및상기 제7단계에서 획득한 박막두께정보를 이용해 상기 제8단계에서 획득한 박막두께정보가 포함된 박막표면정보로부터 박막의 표면정보만을 획득하는 제9단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 방법.