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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0113555 (2005-11-25) |
공개번호 | 10-2007-0055154 (2007-05-30) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050113555 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 유공압 실린더를 포함한 반도체 제조장치에 관한 것이다. 본 발명은 피스톤의 상사점 및 하사점과 대응하는 위치에 상기 피스톤의 움직임을 감지하는 센서가 구비되어 있는 유공압 실린더; 및 상기 피스톤이 기준 속도로 왕복운동하여 2행정이 하나의 사이클을 형성할 때, 상기 피스톤의 1행정 운동에 소요되는 이론적 시간값이 기설정되어 있고, 상기 센서로부터 신호를 입력받아 상기 피스톤의 1행정 운동에 소요되는 실제 시간을 계산한 후, 상기 실제 시간값이 상기 기설정된 이론적 시간값과 불일치하면 상기 피스톤의 움직임을 저지하는 제
피스톤의 상사점 및 하사점과 대응하는 위치에 상기 피스톤의 움직임을 감지하는 센서가 구비되어 있는 유공압 실린더; 및상기 피스톤이 기준 속도로 왕복운동하여 2행정이 하나의 사이클을 형성할 때, 상기 피스톤의 1행정 운동에 소요되는 이론적 시간값이 기설정되어 있고,상기 센서로부터 신호를 입력받아 상기 피스톤의 1행정 운동에 소요되는 실제 시간을 계산한 후,상기 실제 시간값이 상기 기설정된 이론적 시간값과 불일치하면 상기 피스톤의 움직임을 저지하는 제어부;를 구비하는 유공압 실린더를 포함한 반도체 제조장치.
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